电容传感器中的驱动电缆技术

目前高精度机械加工对几何尺寸的动静态检测要求越来越高,检测系统的信号变换方法也随之越来越广泛,以适应检测的需要。电阻式、电感式的应用是十分多见的,电容式的变换方法应用却较少,其原因主要是由于电容式传感器本身的电容值及其变化量都很小,极易为杂散的寄生电容以及连接电缆的电容所淹没。近年来,由于电子技术的发展,以及驱动电缆技术的出现,使得电容式仪器迅速发展,应用日益广泛。其特点为动、静态响应快,精度高,采用驱动电缆技术后,仪器灵敏度可达0.01μm～0.001μm,并且线性度好,可达全量程的1%～0.5%调整使用方便,根据用户要求传感器可设计成任何形状。可用于测量微小位移的振幅及距离,特别适用精密轴系的动态测试,也可用于孔径及表面光洁度的测量以及自动控制等。本文主要介绍驱动电缆的原理和实施方法。