q悬臂式周向多自由曲面超精密加工工装卡具设计

针对周向全方位多自由曲面超精密加工过程中存在的问题,设计其专用卡具;通过模型分析,建立了确定卡具关键参数的数学公式,给出了保证多自由曲面相互位置精度的安装调试方法,为减小卡具部分的系统误差提供理论依据。     

基于CPLD的CCD驱动时序的设计

设计了基于复杂可编程逻辑器件(CPLD)的CCD驱动电路系统.选用Altera公司的MAX7000S系列CPLD作为硬件设计平台,运用VHDL语言对TCD2252D的驱动时序电路进行了描述,并对所设计的驱动程序进行了仿真.     

光学元件抛光用水基磁流变液稳定性研究

在介绍磁流变抛光原理的基础上,分析了磁流变液所应具备的特性.通过配方试验配置了磁流变液,并对其稳定性进行了研究.配置出了沉降率达到8%且具有良好抗团聚稳定性的磁流变液,满足了光学元件抛光的要求.最后提出了进一步提高磁流变液稳定性应采取的几种可行性方法.     

基于数据拟合提高非球曲面面形精度的方法

介绍了采用LVDT在线测量非球曲面的原理,并给出最小二乘数据拟合处理方法;通过试验加工球面和非球面元件,利用LVDT测量头进行在位检测,评估面形精度,经数据拟合插补和误差控制,并采用激光干涉仪测量验证后表明,该算法可以应用于高精度非球面测量及加工误差补偿程序,以提高非球曲面加工精度.     

进动气囊抛光技术研究

为实现高精度的光学玻璃零件的加工,本文对进动气囊抛光关键技术进行了详细研究.首先介绍了进动气囊抛光设备及原理,通过对Preston方程的分析及工艺参数实验确定了抛光去除函数,并对驻留时间算法进行优化求解,通过MATLAB仿真验证残余误差在0.1 μm以内,最后对平面和球面玻璃进行了抛光实验,获得了面形PV值为0.18μm的球面表面,验证了驻留时间算法的合理性,满足光学玻璃元件精密加工的基本要求,为后续进行自由曲面的抛光提供了理论基础.