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1.
Ф300mm大口径平面等厚干涉仪波面数字化技术改造
王青
高志山
李致新
张永宁
赵东升
胡中
何跃
《航空计测技术》
2011,(5):12-14
介绍了把Ф300 mm口径平面等厚干涉仪改造为移相式数字平面干涉仪的基本情况。改造后的仪器采用液面基准的系统误差校准方法,在Ф300 mm口径时的最大允许误差为76 nm(PV值),测量重复性为4 nm,满足相关使用要求。
相似文献
2.
一种通道主动冷却头锥结构控温效果的试验研究
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赵东升
张瑞
于喜奎
《飞机设计》
2024,44(1):56-60
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