微机械加速度计发展现状浅析

自微机电系统（MEMS）技术以IC工艺为基础发展以来,微机械加速度计便作为其中一个耀眼的应用实例大放异彩。在国外,上世纪九十年代就有低精度微加速度计产品,同时国内也开始了相关研究。时至今日,微加速度计已经按高精度、中精度、低精度三个精度等级分别发展。以麻省理工大学（MIT）Draper实验室为代表的一些国外机构已经研制出10-7g级别的高精度微加速度计样机并尝试在潜射导弹、洲际导弹再入等方面取得应用,乃至将来替代高精度摆式积分陀螺加速度计（PIGA）;以COLIBRYS、Honeywell等公司为代表的商业机构,依托自身科研能力,致力于将中精度微机械加速度计推出量产化的单表和组合成品并推向低端军用和高端民用市场;以AD、ST等公司为代表的跨国公司,依托自身工艺线,推出大量的微机械加速度计,占领了消费电子市场。国内的研制分工也越来越细化,技术路线、行业分工、研究内容、需求牵引都越来越明确,其中压阻式、热对流式微机械加速度计已经产业化,微机械加速度计已有小批量的产品,硅微谐振式加速度计也显示了很好的发展前景。本文试对发展现状进行了简单评析。     

浅谈三种电容式微加速度计的空气阻尼

为明确梳齿电容式与"三明治"电容式微加速度计的噪声极限与相关的三类结构形式对应的微机械加工工艺影响,着重分析了三种工艺实现下的典型参数微加速度计的大气环境下空气阻尼情况,并剖析了不同的结构形式与不同的加工工艺对结构型式的约束和对精度极限的限制.为说明由尺度效应带来的微加速度计受空气阻尼影响而产生的远大于传统加速度计的机...     

高品质因子MEMS陀螺仪驱动控制方案研究

真空封装技术和高性能闭环驱动控制方案,是提高MEMS陀螺仪性能的重要措施.通过器件级真空封装技术的研究,使得MEMS陀螺仪Q值达到3000,成品率达到98％,极大地提高了MEMS陀螺仪整表的精度水平和工程化能力,在此基础上,针对高Q值陀螺仪稳幅及稳频控制的难点,设计了一种基于随动控制的自动增益控制回路(AGC),在理论...     

一种基于高线性度弓形支撑梁的新型MEMS陀螺设计

由于尺度效应带来的大变形问题,两端固支梁具有的硬弹簧效应将引发MEMS陀螺的非线性“达芬”振动,影响陀螺的线形度和稳定性.本文设计了一种新型高线性度弓形支撑梁,并通过数值仿真证明了弓形梁在大变形条件下也能保证力与位移转换环节间的线性关系.基于该高线性度弓形支撑梁创新性的设计了一种双级解耦MEMS陀螺,在常压下,该新型M...