| 高品质因子MEMS陀螺仪驱动控制方案研究 |
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| 引用本文： | 薛旭,梁新建,李丹东,冯舟,李宏生.高品质因子MEMS陀螺仪驱动控制方案研究[J].导航与控制,2011(3):36-41. |
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| 作者姓名： | 薛旭 梁新建 李丹东 冯舟 李宏生 |
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| 作者单位： | 北京航天控制仪器研究所;北京航天控制仪器研究所;北京航天控制仪器研究所;北京航天控制仪器研究所;东南大学微惯性仪表与先进导航技术教育部重点实验室 |
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| 摘 要： | 真空封装技术和高性能闭环驱动控制方案,是提高MEMS陀螺仪性能的重要措施.通过器件级真空封装技术的研究,使得MEMS陀螺仪Q值达到3000,成品率达到98％,极大地提高了MEMS陀螺仪整表的精度水平和工程化能力,在此基础上,针对高Q值陀螺仪稳幅及稳频控制的难点,设计了一种基于随动控制的自动增益控制回路(AGC),在理论...
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| 关 键 词： | MEMS陀螺仪 真空封装 自动增益控制 PID控制 |
The Research of the Control Scheme for Closed-loop Drive Loop of the High Q-factor MEMS Gyroscope |
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| XUE Xu,LIANG Xin-jian,LI Dan-dong,FENG Zhou and LI Hong-sheng.The Research of the Control Scheme for Closed-loop Drive Loop of the High Q-factor MEMS Gyroscope[J].Navigation and Control,2011(3):36-41. |
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| Authors: | XUE Xu LIANG Xin-jian LI Dan-dong FENG Zhou and LI Hong-sheng |
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| Institution: | Beijing Institute of Aerospace Control Device;Beijing Institute of Aerospace Control Device;Beijing Institute of Aerospace Control Device;Beijing Institute of Aerospace Control Device;Key Laboratory for Micro Inertial Instrument and Adwanced Navigationg Technology of Ministry of Education, Southeast University |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | MEMS gyroscope vacuum packaging AGC PID control |
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