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采用可编程多轴运动控制卡实现对细分多齿分度台的自动控制,通过在细分机构中加入光栅作为位置反馈,提高了细分角度的准确度,从而提高了仪器的整体准确度。  相似文献   
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高精度二维自准直仪的研制   总被引：1，自引：0，他引：1  
介绍了一种高精度二维自准直仪,它采用面阵CCD器件作为光电传感器,利用自准直原理实现了二维角度的测量,其测量范围为±300",精度为±0.2".  相似文献   
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