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1
1.
精密工程中应用的宽范围原子力显微镜的研究
张鸿海
曹伟
江福祥
李文菊
周学夫
师汉民
陈日曜
熊良山
《航空精密制造技术》
1995,(1)
描述了一种用于精密工程中超精密测量的宽范围原子力显微镜.用管状扫描器工作时,测量范围可达2μm×2μm,能获得原子级的分辨率.当用新开发的定范围工作台扫描时,测量范围可为140μm×140μm;分辨率可在1~100nm之间调节.
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