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1.
微压压力传感器的结构改进
总被引:3,自引:0,他引:3
鲍敏杭
沈绍群
《航空计测技术》
1995,15(5):6-8,32
硅压力传感器具有小型和高灵敏等的优点,近年来小型高灵敏度的压力传感器的量程已低到1kPa。在这一发展过程中硅弹性体结构的改进起了很大的作用,本文介绍了作者首先提出了适用于微压压力传感器的梁膜(岛)结构以及以后几年来出现的相近的结构,用这些结构都已制成量程为1kPa的压力传感器 。
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