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1.
为了扩大fx-3600p、fx-180p、EL-5100计算器的应用范围,根据这三种计算器的使用说明书,我们编写了利用该三种计算器进行谐波分析(即计算各次谐波系数的手编计算程序),是为具有这三种计算器者能在实验现场,进行数据处理时做谐波分析提供方便。尤其是对目前使用一般计算机还有一定困难的  相似文献   
2.
介绍了一种刻划精度达±0.06″,采用圆光栅作角分度基准器,空气静压双半球轴系作主轴,由电机直接驱动,用脉冲氙灯作光源,以聚乙烯醇负性光刻胶作感光胶的新型的连续动态光刻光电式动态光栅精密圆刻机的设计和它的研制要点及有关技术。  相似文献   
3.
利用圆光栅莫尔技术,获得高精度的角度分度基础,已被广泛地应用,但是,大多数所用的圆光栅元件都是六一十进制的。在我们的具体工作中,为了能实现与80倍电子细分线路相配合,得到0″.36数频分辨率的测角系统,提出在原东德OFD圆刻机上,实现节矩角为  相似文献   
4.
介绍一种在分步投影光刻机中,采用不等栅距光栅进行对准的系统。详细介绍了该系统的光学原理、所采用对准目标的刻线形式、空间滤波的方法、信号处理的方法和对系统有影响的误差源以及改进措施。  相似文献   
5.
随着空气技术、精密加工及精密光学仪器制造工业的发展,对旋转轴系的回转精度提出了愈来愈高的要求。如空间技术中所需要的人造卫星模拟转台、在机械加工领域中的镜面车削以及在精密仪器制造领域中的误差小于0.1角秒的角度测量和分度等,都要求很高的轴系回转精度。本文主要是根据我们收集到的资料进行整理编写的,介绍国外有关空气静压球面轴系的  相似文献   
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