恒压式气体微流量计测量不确定度评估

介绍了恒压式气体微流量计的组成和校准原理.在对电容薄膜规做了热流逸效应实验的基础上,对流量计的测量不确定度进行了评估,给出了扩展不确定度和包含因子.通过传递标准漏孔与德国PTB开展了漏率比对,验证了测量不确定度评估结果的可靠性.     

正压漏孔校准装置定容室容积测量方法研究

提出了一种正压漏可孔校准装置的定容室容积测量方法,通过在定容室上外接一个容器,并在其内部放置一个体积可以精确计量的金属棒,利用两次膨胀,计算出定容室的容积。该方法的优点是,不需要测量外接容器的容积,也不需要对压力测量值进行绝对校准,测量不确定度小,尤其适合小容积的精确测量。采用这种方法对一台恒压式正压漏孔校准装置的定容室容积进行了测量,分析了测量不确定度,实验结果表明,定容室的容积为9.85 mL,标准不确定度为0.81%,满足了装置的测量要求。     

恒压式气体流量计变容室截面面积测量技术研究

为了研制恒压式气体微流量计,设计了以波纹管为主体的变容室,并对波纹管变容室截面面积进行了测量。采用多项式拟合公式对波纹管截面面积测量结果进行了修正,避免了波纹管非线性的影响,结果表明修正后偏差小于0.16%,截面面积的测量结果合成标准不确定度小于0.53%,可以满足使用要求。     

正压漏孔校准方法研究

以国内外正压漏孔校准装置及技术的发展现状为基础,研究了定容变压法、恒压变容法、动态比较法等正压漏孔校准方法,分析了这些方法的基本原理、装置构成和漏率测量范围,同时将它们的关键技术、实现的难易程度、优缺点等进行了比较和评价,并对我国正压漏孔校准技术的研究工作提出了建议。     

冷阴极电离真空计校准方法研究

主要介绍了冷阴极电离真空计结构、工作原理及冷阴极电离真空计的校准方法和校准装置,并对校准数据进行了处理。由于冷阴极电离真空计为非线性真空计,通过比较,校准结果采用了校准曲线的方式,可提高校准的准确度,减小校准不确定度,保证真空测量的可靠性。     

氙气质量流量计校准装置测量不确定度评定

通过建立氙气质量流量计校准的测量模型,分析了测量不确定度分量,最后合成了氙气质量流量计校准装置的相对合成标准不确定度,并对评定结果进行了分析讨论。     

小孔流导法材料放气率测量装置的设计

介绍了小孔流导法测量真空材料放气率的原理和测量装置的设计方案。该装置由真空抽气系统、流导法测量系统、压力测量与质谱分析系统等三部分组成,设计的核心思想是采用对称的双测试室结构设计,可以精确测量测试室和分离规等带来的本底吸放气影响,并可实现实时、动态测量。装置的测量范围为（1×10^-7-1×10^-14）Pa.m^3/（s.cm^2）,温度测试范围为45℃-500℃,极限真空度为5×10^-8Pa。     

分压力质谱计校准装置的不确定度分析

介绍了分压力质谱计校准装置的结构，工作原理及分压力测量方法，对分压力测量和灵敏度校准的不确定度进行了分析。     

恒压式气体微流量计的测控系统研制

恒压式气体微流量计的测控系统是在工控机控制下 ,采用电容薄膜规、光电编码器、铂电阻温度计等高精度传感器测量出变容室内气体的压力、体积变化率、温度等参量 ;采用两种恒压控制模式 ,在流量测量的动态过程中将变容室内气体的压力波动控制在± 0 0 1%之内 ;工作软件具有虚拟仪器界面 ,操作方便 ,实现了对流量计的计算机自动化控制和管理。恒压式气体微流量计能够提供 (3 96× 10 -4～ 3 6 4× 10 -8)Pa·m3 /s范围内的气体微流量。在 10 -8Pa·m3 /s范围内的相对合成标准不确定度为 1% ,在 (1× 10 -7～ 1× 10 -4)Pa·m3 /s范围内的相对合成标准不确定度为 0 7%。     

基于LabVIEW的气体微流量测量虚拟仪器的开发

运用LabVIEW6．1开发了用于气体微流量测量的虚拟仪器，阐明了该虚拟仪器的硬件结构、软件设计思想和具体实现，结合实验数据对不确定度进行了分析。该系统具有测量精度高、界面友好、运行稳定可靠、功能便于扩展等特点。