| 恒压式气体微流量计的测控系统研制 |
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| 引用本文： | 成永军,冯焱,张涤新,赵定众.恒压式气体微流量计的测控系统研制[J].宇航计测技术,2004,24(6):14-19. |
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| 作者姓名： | 成永军 冯焱 张涤新 赵定众 |
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| 作者单位： | 兰州物理研究所,兰州,730000 |
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| 摘 要： | 恒压式气体微流量计的测控系统是在工控机控制下 ,采用电容薄膜规、光电编码器、铂电阻温度计等高精度传感器测量出变容室内气体的压力、体积变化率、温度等参量 ;采用两种恒压控制模式 ,在流量测量的动态过程中将变容室内气体的压力波动控制在± 0 0 1%之内 ;工作软件具有虚拟仪器界面 ,操作方便 ,实现了对流量计的计算机自动化控制和管理。恒压式气体微流量计能够提供 (3 96× 10 -4～ 3 6 4× 10 -8)Pa·m3 /s范围内的气体微流量。在 10 -8Pa·m3 /s范围内的相对合成标准不确定度为 1% ,在 (1× 10 -7～ 1× 10 -4)Pa·m3 /s范围内的相对合成标准不确定度为 0 7%。
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| 关 键 词： | 流量计 气体流量 测量与控制 |
| 文章编号： | 1000-7202(2004)06-0014-06 |
| 修稿时间： | 2004年8月25日 |
Development of Measurement and Control System of Constant Pressure Gas Micro-flowmeter |
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| CHENG Yong-jun,FENG Yan,ZHANG Di-xin,ZHAO Ding-zhong.Development of Measurement and Control System of Constant Pressure Gas Micro-flowmeter[J].Journal of Astronautic Metrology and Measurement,2004,24(6):14-19. |
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| Authors: | CHENG Yong-jun FENG Yan ZHANG Di-xin ZHAO Ding-zhong |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Flowmeter Gas flow Measurement and control |
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