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一种用计量光栅实现 2nm测量分辨率的新方法 总被引：1，自引：0，他引：1
提出一种利用正切函数在零点附近的小范围内线性度非常好的特点,对计量光栅技术中计算机正切细分法进行扩展,在信号处理电路中设计出一个量程比较小的精测档,以获得更高的纳米级的测量分辨率的新方法,并进行了详细充分的实验验证. 相似文献
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