二氧化硅反应离子刻蚀中的微负载效应研究

对二氧化硅反应离子刻蚀中反应室压力,刻蚀气体流量和射频功率等因素对刻蚀速率和刻蚀均匀性的影响进行了研究。结果表明,通过对反应室压力、刻蚀气体流量和射频功率的调节,可以降低微负载效应的影响,得到良好的刻蚀均匀性。     

提高微细电解加工精度的研究

对影响微细电解加工精度的因素进行了详细的分析,提出了改善加工精度的方法,如以循环进刀代替直接进刀方式、采用脉冲加工电源、改善阴极的结构设计以及采用非线性电解液等。最后,结合实验对这些方法的可行性与有效性进行了验证。     

油润滑下微细电火花线切割加工表面的摩擦学特性

以球-面接触方式,利用UMT-2MT型多功能摩擦磨损试验机考察了微细电火花线切割加工表面在缝纫机油润滑下的摩擦学性能,采用非接触式表面形貌分析仪和扫描电子显微镜分析了摩擦表面的形貌,讨论其磨损机理.结果表明,油润滑条件明显改善了微细电火花线切割加工模具钢M42表面的摩擦学特性;随着载荷的增加,摩擦系数降低,磨损体积呈增...     

微细铣削和微细车铣切削技术

航空航天、国防工业、现代医学以及生物工程技术的发展对微小装置的功能、结构复杂程度、可靠性的要求越来越高,从而使得对特征尺寸在微米级到毫米级、采用多种材料、且具有一定形状精度和表面质量要求的精密三维微小零件的需求日益迫切<'[1]>.微小型制造技术作为先进制造技术的重要发展方向和多学科交叉的科技研究前沿,因此备受有关研究机构的关注.围绕着微细切削技术,国外展开了深入的研究.国内部分大学和研究所也进行了初步的研究.     

微细电解射流喷射装置研制与工艺试验

为提高微细电解射流加工效率及加工质量,研制了专用喷射装置,并利用该装置进行了初步工艺试验。结果证明该装置保证了电解液在其腔体中能够得到充分"负极化",且能获得满足加工要求的稳定破碎长度,满足了电解射流加工试验要求。     

屏蔽阳极模板随动式微细电铸的定域性研究

屏蔽阳极模板随动式微细电铸技术是一种新颖的金属微结构加工方法,具有工艺简单、成本低以及高深宽比微结构加工能力的优点。电沉积定域性是影响其复制精度和分辨率的核心因素。对电沉积定域性进行了理论分析和实验研究,结果表明:极间距对定域性的影响较大,杂散沉积宽度随着极间距线性增大;而在极间距一定时,极间电压(即电沉积电流密度)、屏蔽胶膜厚度及微槽特征宽度不影响电沉积的定域性。     

记忆合金箍环增强复合材料管件接头力学性能分析

复合材料管件在使用时需与接头粘接,粘接的强度常常决定了整个管件的承载能力。本文首先用有限元方法分析了记忆合金箍环对复合材料圆管接头承拉能力的影响,再通过两组轴拉静力试验测试了记忆合金箍环对复合材料圆管拉伸强度的影响程度。试验结果表明记忆合金箍环能提高复合材料圆管接头拉伸强度10.1%,能较好地提高连接性能,这与有限元分析结果相符,分析及试验结果对复合材料管件设计改进有指导作用。     

非线性气体振荡整流效应对翼尖涡的影响

以圆管内气体的非线性振荡理论和实验研究成果为基础，利用开口圆管中气体非线性振荡的整流效应，通过翼面开缝以及翼尖开口引入气体振荡，主要进行翼尖涡控制的实验研究。实验结果表明，翼面开缝和翼尖开口引入气体振荡在大迎角时对提高升力系数、增大机翼的稳定性有一定作用。同时，翼尖开口引入气体振荡能较好改善翼尖涡的位置和强度。对比翼面开缝以及无气体激振状态。翼尖涡在翼尖气体振荡条件下向翼尖外部移动了近3／4个弦长，向上翼面方向移动了近1／4弦长。