表面微加工惯性传感器的实例—一种电容式加速度计

本文介绍了单一芯片上的三敏感轴表面微加工加速度计的技术原理，传感器的设计以及与之相关各单轴加速度计的测量结果。传感器的机械结构由厚为１０微米的多晶硅层采用高淀积速率淀积工艺加工而成。实现该传感器的全部制造过程是考虑到与化ＢＩＣＭＯＳ制造过程合二为一的要求。     

MEMS推进系统的微流研究

微流研究的进步是以更快的逮度应用于航空工程。由于航空航天运输飞行器固有的特性以及质量、体积和力的有效性，航天系统无疑将得益于微尺度研究。微型设备和微型辅助系统，不仅可以发展小型工具，也可以使大型的设备具有更强的功能。本文所研究的就是微流研究在小型卫星（质量低于20kg）和大尺寸卫星独有的推进系统发展中的应用。这种推进系统可以完成基本的雅动以及避行小卫星的姿态控制，或者大型宇宙飞船细微姿态控制。MEMS推进系统必须考虑檄流研究的一些独有的方面包括微尺度两相流动。燃烧。负离子等的形成，气体表面相互作用，并且能够研究高速气体流动的诊断工具的发展。     

纳米技术在导弹武器系统上的应用

从20世纪90年代起，纳米技术得到迅速发展，它已成为新世纪信息时代的核心。发展纳米技术是国防科技与武器装备保持长远、持续发展以及实现跨越式发展的一次新的机遇。纳米技术在导弹武器系统上的应用有着广阔的前景。     

一种新型的低频光学加速度计

介绍了一种低频光学加速度计，它可用于水电站的临视系统。采用光纤技术及干涉工艺，实现了应用所要求的高灵敏度。小型化的体积及简洁性的原理使用其非常适用于这一领域。     

加速度计的一种校准方法

本文介绍了有关冲击摆（单摆与复摆）的计算方法、产生加速度的原理、加速度的调整与测量方法及其误差分析。冲击摆是在工厂条件下校准加速度计算的一种装置。对于低于5000m/s^2的冲击加速度，其稳定性和精确度都很好，若加速度波形为半正弦波，其综合测量误差优于5%。     

动基座重力梯度仪技术及其应用

本文首先阐明了动基座重力梯度测量的重要意义，在分析了当前国内外动基座重力梯度仪研究现状的基础上，重点阐述了旋转加速度计重力梯度仪的测量机理，探讨了其中的一些关键技术和解决设想，同时就其自身特点提出了可能的应用领域。     

微惯性器件

本文简述了微惯性器件的发展情况，介绍了微加速度主，微陀螺仪的工作原理，论述了微惯性器件的发展方向。