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蓝宝石衬底的超光滑表面加工进展 总被引:3,自引:0,他引:3
回顾了(0001)面蓝宝石衬底在LED的重要作用及其磨粒加工方法的发展进程.归纳了磨粒加工在蓝宝石衬底的超光滑制备过程中的应用现状,分别对磨削、机械抛光、干式机械化学抛光、湿式机械化学和化学机械抛光在蓝宝石衬底中的应用进行了总结和分析,对比了不同方法对蓝宝石衬底的加工损伤特性和优缺点. 相似文献
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结合空间合成技术的发展,开展波导空间固态功率合成微组装工艺技术研究,突破和掌握了波导空间合成大功率组件的关键技术。经过试制功率样件验证,波导空间固态功率合成微组装工艺可行,并获得了良好的合成功率输出。 相似文献
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