Ф300mm大口径平面等厚干涉仪波面数字化技术改造

介绍了把Ф300 mm口径平面等厚干涉仪改造为移相式数字平面干涉仪的基本情况。改造后的仪器采用液面基准的系统误差校准方法,在Ф300 mm口径时的最大允许误差为76 nm（PV值）,测量重复性为4 nm,满足相关使用要求。     

工装设计优化技术的现状及发展趋势

介绍了国内外工装设计优化技术的现状,以高精尖的大型复杂装备制造行业工装为例,说明了柔性工装是工装设计制造的趋势;分析了工装设计优化的关键技术,其中包括柔性化、模块化、数字化、标准化、自动化和网络化等多个方面.