表面微加工惯性传感器的实例—一种电容式加速度计

本文介绍了单一芯片上的三敏感轴表面微加工加速度计的技术原理，传感器的设计以及与之相关各单轴加速度计的测量结果。传感器的机械结构由厚为１０微米的多晶硅层采用高淀积速率淀积工艺加工而成。实现该传感器的全部制造过程是考虑到与化ＢＩＣＭＯＳ制造过程合二为一的要求。     

侏儒导弹的三种候选制导方案

本文简要介绍了侏儒导弹的三种候选制导方案——小型浮球平台系统,星光/惯性平台系统和激光陀螺捷联系统及洲际导弹制导系统和惯性器件的发展走势。     

石英加速度计故障机理研究与仿真建模验证

针对加速度计故障定位测试方法不明确、周期长且定位不准确的问题,对加速度计故障机理进行研究以及验证.首先,通过对加速度计结构、工作机理、试验环境等方面的结合分析,从理论上研究了加速度计正负饱和、无输出等常见故障模式;其次,通过故障机理分析与20多种试验仿真模拟,建立每一种故障对应的故障模式;结果表明:加速度计每种故障与测...     

表面的细节:利用振荡器探寻质量变化的秘密

正很快,全世界都会认可基于某个物理常数的千克的新定义,似乎再无需担心铂铱合金国际千克原器随时间发生质量变化的恼人问题。但事实上,这个问题依然存在:人造物品很容易受环境影响而出现质量消散的情况。美国国家标准与技术研究院(NIST)的研究人员设计出一种实验装置,用于研究各种材料表面质量在不同环境下是如何增加或减少的。该装置的灵敏度为0.02μg/cm2,相当于在11 km2     

差动式电涡流传感器在摆式加速度计中的应用

差动电涡流传感器因结构简单、灵敏度高、线性范围大而得到广泛的应用。本文主要论述了差动式电涡流传感器在摆式加速度计中的应用,实验结果表明该设计结构合理、工艺可行,能满足使用要求。     

多加速度计振动分离惯性补偿测力技术

为解决在高超声速脉冲风洞中进行大长细比等特殊模型测力实验所面临的惯性补偿问题,笔者提出了多加速度计振动分离惯性补偿方法。这一方法应用在长细比达20 :1 的模型气动力实验中,得到了较为理想的实验结果     

一种微加速度测量系统——全量程测试的结果及展望

本文给出在光子－１１号宇宙飞船上的微加速度测量的结果，此飞船准备用于失重条件下的科学实验和工艺动作。这些测量是通过一个微加速度测量系统Ｓｉｎｕｓ－６ｋ进行的。本文讨论了试验研究得到的数据的分析结果，并展望了一种更好的微加速度测量系统Ｓｉｎｕｓ－１５ｋ，该系统是为将要在１９９９年夏季发射的光子－１２宇宙飞船而设计的。     

石英旋转速率传感器

以惯性-传感规则为基础，石英速率传感器为旋转速度提供了一个简单而又可靠地测量方法。利用哥氏规则，使用一个振动元件测量旋转速度是一个概念，这个概念已形成了50多年的历史。实际上，在我们观察到某种飞行使用一对振动天线稳定飞行前，这个方法已发展了很长时间。这种传感技术的核心便是：石英速率传感器。(QRS)     

加速度计的一种校准方法

本文介绍了有关冲击摆（单摆与复摆）的计算方法、产生加速度的原理、加速度的调整与测量方法及其误差分析。冲击摆是在工厂条件下校准加速度计算的一种装置。对于低于5000m/s^2的冲击加速度，其稳定性和精确度都很好，若加速度波形为半正弦波，其综合测量误差优于5%。