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行星齿轮经过离子渗氮后,能延缓剥落的产生,有效地提高齿轮的接触疲劳寿命。但若渗氮质量(如表面硬度、渗层深度、心部硬度等)不符合技术要求,也会出现剥落破坏。因此,严格有效地控制渗氮质量就变得非常重要。 相似文献
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一种非接触光外差轮廓仪 总被引:1,自引:0,他引:1
介绍了一种纳米级非接触超高精度光外差轮廓仪。该量仪是基于普通光路的外差干涉仪,两束具有微小频差的激光束照射到制件表面:其中一束光被会聚后作为测量光针扫瞄制件表面;另一束光则被用作参考光束。这两束光经反射后形成干涉,所得信号的光程差与制件表面高度变化成正比。量仪的横向分辩力小于2μm,垂直分辩力小于1nm。制件不需要进行大的调整。制件表面同时亦被作为测量参考面。经光电转换后,信号由微机处理,从而快速完成测量、计算、显示与打印各种参数与图形。 相似文献
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