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为了在超高频范围内对基模振荡器进行控制和运用滤波器,开展了对于小型体波谐振器的基本材料和器件特性的研究。本文报道了氮化铝(ALN)在构成复合谐振器几何形状和边缘支撑型晶片结构方面的性能。 ALN薄膜是在直流平板磁控管溅镀装置中,用中间电极溅射出来的AL和等离子气体中的N_2之间的等离子体反应生成的。一般溅镀条件是:溅镀压力=1×10~(-3)毛,空气含氮量=99.999%基片温度=200℃,直流功率-225瓦,溅镀率=1.2微米/小时。ALN薄膜的品质用扫描式电子显微镜(SEM)、X射线衍射法和奥格(Auger)电子分光镜进行鉴定。检测结果说明,溅镀的ALN薄膜具有严格的晶向结构,其C轴垂直于Si(硅)基片表面。对于由1.7微米ALN薄膜和8微米Si基片组成的谐振器,测出的基频串联谐振频率为328.53兆赫,基频并联谐振频率为328.61兆赫。这种规格谐振器的Q值约有7500,它在-20℃至+120℃范围内的实测温度系数约为-4×10~(-8)/℃。对于具有1.7微米ALN薄膜和6微米Si基片的谐振器,实测的温度系数是-6×10~(-6)/℃。这种规格谐振器的Q值约为5000,它的基频串联谐振频率是524.11兆赫,而基频并联谐振频率是524.45兆赫。应用微电子半导体加工技术,已经制成了边缘支撑型ALN晶片。晶片厚度为1.0至7微米,面积约为300平方微米。这种晶片是边缘支撑型的,这与以前报道的底膜支撑型薄膜是不相同的。厚度为6.5微米的典型ALN晶片在790兆赫附近产生基模谐振,耦合系数为10.3%。在-20℃至120℃范围内测得的温度系数可达到-20.5×10~(-6)/℃。目前,已按外延特性制造出具有水平C轴的氧化锌ZnO晶片。这种晶片显示出切变波谐振特性,这意味着晶片有很高的谐振Q和比较简单的模式结构。 相似文献
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At the 40th IAF Congress in Malaga, a nutrition system for a lunar base CELSS was presented. A lunar base with a total of eight crew members was envisaged. In this paper, four species of plants--rice, soybean, lettuce and strawberry--were introduced to the system. These plants were sufficient to satisfy fundamental nutritional needs of the crew members. The supply of nutrition from plants and the human nutritional requirements could almost be balanced. Our study revealed that the necessary plant cultivation area per crew member would be nearly 40 m3 in the lunar base. The sources of nutrition considered in the study were energy, sugar, fat, amino acids, inorganic salt and vitamins; however, calcium, vitamin B2, vitamin A and sodium were found to be lacking. Therefore, a subsystem to supply these elements is of considerable value. In this paper, we report on a study for breeding snails and utilizing meat as food. Nutrients supplied from snails are shown to compensate for the above mentioned lacking elements. We evaluate the snail breeder and the associated food supply system as a subsystem of closed ecological life support system. 相似文献
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35.
纤维预制体的渗透性、孔穴或干斑的形成、残余应力的形成得影响成品质量的三个主要方面,本文对研究中存在的问题,进行了总结和评述。针对RTM工艺过程模拟中采用的控制方程,简要阐述了几种常用数值方法的特点。结合国内外RTM工艺过程数值模拟研究动态,指出了其发展方向。 相似文献
36.
H_∞滤波算法及其在GPS/SINS组合导航系统中的应用 总被引:4,自引:0,他引:4
在对 H∞ 估计问题进行数学描述的基础上,建立了一种 H∞ 次优滤波算法的迭代方程。定性讨论了H∞滤波算法与传统 Kalman滤波器的关系,通过在 GPS/SINS组合系统中的实际应用进一步从精度、鲁棒性等性能指标方面对 H∞ 滤波和 Kalman滤波算法进行了比较。仿真结果表明,在理想条件下,Kalman滤波方法具有较高的精度;但是,当系统模型和外部干扰统计特性发生变化时,H∞ 滤波算法明显具有良好的鲁棒性能,同时,估计精度也较高,有效地克服了 Kalman滤波器存在的局限性。 相似文献
37.
固体推进剂裂纹对流燃烧和扩展的研究分析 总被引:5,自引:4,他引:5
评述了固体推进剂裂纹对流燃烧及扩展的研究,讨论了推进剂裂纹对流燃烧的流场与裂纹的变形、扩展及其之间存在着强耦合作用。初步揭示了在不同的燃烧室压力率下单一裂纹扩展的不同模式,指出裂纹腔内火焰的离散传播、裂纹尖端的压力突升以及对流燃烧条件下的裂纹失稳扩展极可能诱导产生DDT过程,提出了需进一步深入研究的问题。 相似文献
38.
绿色制造中的干切削技术 总被引:3,自引:0,他引:3
冷却润滑液的存储、使用以及废弃处理需要专门的物流系统,因而费用很高;冷却润滑液处理不当会对人的健康以及环境造成危害;工件经过湿加工后必须进行清洁处理,这都费时费力,同时增加了对系统的要求.基于上述原因,近年来干切削技术受到广泛关注. 相似文献
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