表面粗糙度的光学测量方法

表面粗糙度的光学测量方法,具有非接触、精度高和响应快等优点,致使研究十分引人注目,发展极快。本文简单介绍了几种典型的光学测量原理和方法及一些商品化的仪器。     

表面微观形貌的MOTIF参数计算

对MOTIF参数的基本概念、意义及算法作了介绍，并在精密加工试件上进行了实验。     

3D表面粗糙度的测量方法分析

近二十年内,精密和超精密加工技术对表面质量、性能的评价提出了越来越高的要求,并且希望在三维范围内“完整、全面”地表征表面的形成;而微纳米测量技术、光电子和计算机技术的发展,给三维表面微观形貌的分析奠定了坚实的基础,致使这方面的研究十分活跃．本文旨在对目前几种常见的三维表面测量方法的基本原理、特征及应用范围作一简单的介绍和分析．     

分形表面的结构函数及其应用

介绍了用于表征分形表面的结构函数的定义，起因以及与其它统计量的关系，并给出了实验和结果分析。     

三维粗糙表面的高阶谱分析

在分析二维的功率谱、自相关函数的基础上,利用三阶累积量的对角线切片,提出了一种可用于表征三维粗糙表面度偏离高斯分布程度的双谱分析方法,并通过对几种典型精密加工试件的实验,表明了该方法的合理性。     

机加工表面轮廓分形维数的两种计算方法

基于W-M分形函数提出了机加工表面轮廓分形维数的两种实用算法，即功率谱法和结构函数法．通过使用具有已知分形线数的W-M函数离散数据计算的结果表明，结构函数法比功率过算法准确．并且用两种算法分析了车削加工表面轮廓分形推数D与Ra之问的关系，进而表明Ra值越小，D值越大，此时的表面微观结构越精细．     

表面粗糙度的现状及发展

讨论了表面粗糙度测量和表征中，一些人们感兴趣的有待解决的问题，如：基准、滤波、校准样块、评定软件和表征参数等．认为在3D表面分析中应采用数字滤波，以保留数据的完整性；辨析了现存测量仪器和方法的范围──分辨力空间图中的缺口；介绍了校准样块的制备和测量；同时指出当前评定软件缺乏一致性和标准性，建议设计“软件量规”．最后指出了表面特征分析的发展趋势．     

光学非球曲面中高频面形误差的控制与补偿技术研究

本文分析了非球曲面中、高频面形误差的产生原因及作用机理,对面形精度有直接影响的切削刀具、切削参数、加工路径、切削状态、测量方法、工作环境等因素,提出了优化选择的规则和控制策略;给出了减小误差的补偿原理和编程设计方法,并在数控机床上进行了编程补偿试验,结果证明面形误差得到了有效控制。     

三维表面微观形貌的测量方法

分析了表面结构的形成过程及其分类 ,介绍了目前在 3D微观形貌测量过程中广泛使用的触针法、扫描探针显微镜和几种光学方法的基本原理、测量范围、分辨力等特性。最后指出了 3D分析技术的现状和将来的发展趋势。     

表面粗糙度评定参数的分形表征

以分形几何理论为基础,利用轮廓谱矩和表面谱矩的概念对表面粗糙度评定参数进行了分形表征,并在此基础上提出了一些新的三维评定参数,如均一性、等方性等。