智能化传感器的研究初探

智能化传感器是一种带有微处理器兼有检测和信号处理功能的传感器。本文所说的智能化传感器是一种压力、温度信号测试一体的传感器，它可同时实现压力和温度信号的检测，而温度信号又作为对压力传感器温度特性补偿的依据。由于它具有很高的测量精度和极快的测量速度，因此是气动静态压力测量中理想的仪表。     

合金薄膜高温压力传感器研究进展

合金薄膜压力传感器克服了粘贴式应变压力传感器的缺点,性能更优良,适应恶劣环境压力测量要求。对合金薄膜压力传感器的工作原理进行了介绍,比较了几种压力传感器的优缺点,并以应用温度范围这一指标为中心论述了镍铬、铂钨及钯铬薄膜压力传感器的性能特点及研究现状。镍铬薄膜传感器适用于中、低温介质压力测量,而铂钨、钯铬薄膜传感器适用于...     

惠斯通电桥式压力传感器温度补偿电路设计

基于惠斯通电桥式压力传感器桥阻随温度变化的特性,电路设计通过利用桥阻随温度变化、桥路电压也随之改变的特性,完成对压力传感器的温度补偿。针对压力传感器灵敏度正温度系数-零位正温度系数、灵敏度正温度系数-零位负温度系数、灵敏度负温度系数-零位正温度系数、灵敏度负温度系数-零位负温度系数这四种情况进行补偿电路设计,并对传感器灵敏度温度补偿部分电路进行公式推导,选择合适的电路参数。计算结果表明,电路补偿达到理想效果。     

可调低温环境压力传感器校准装置实现

介绍了压力传感器超低温环境下现场校准装置原理及组成,论述校准装置主要技术指标计算方法、温度调节控制算法,结合液氧推进剂条件压力参数校准要求,给出了试验现场压力传感器校准装置具体实现方案.通过低温传感器现场校准数据与不确定度计算,验证了低温压力传感器校准装置的可行性和数据准确性.     

灵敏度温度自补偿薄膜压力传感器的研制

溅射薄膜压力传感器具有长期稳定性好、耐高温等优点,但是由于受弹性体材料自身特性的影响,传感器的灵敏度温度误差大,大约在1.5×10-4~2×10-4/F.S℃,是导致传感器测量误差大的原因之一。在弹性体上设计加工灵敏度温度补偿电阻,使应变电阻和灵敏度温度误差补偿电阻可以在同一时间感受温度,比在后续电路上进行温度补偿,温度响应快。对灵敏度温度自补偿压力敏感元件进行设计与研制。实测结果表明,采用灵敏度温度自补偿工艺技术的敏感元件,灵敏度温度误差较小,可以控制在0.25×10-4/F.S℃以下,传感器的温度性能得到了提高。     

基于主元分析法的液体火箭发动机传感器故障检测与诊断

针对液体火箭发动机的压力、温度、流量等传感器数据,给出了一种基于主元分析法的传感器故障检测与诊断方法。该方法能够在对测量参数相关性分析的基础上,将传感器测量值所组成的测量空间分解为主元和残差两个子空间,通过传感器实际测量数据与正常数据矩阵在残差子空间投影的比较,对传感器的故障进行检测与诊断。以某型LRE传感器组为研究对象,通过故障模拟,给出了该方法对4种典型传感器故障的检测与诊断实例。结果表明主元分析法对LRE传感器具有很好的故障检测和故障诊断能力。     

CMOS 集成硅压力传感器特性的线性分析

作者对最新设计的具有方形硅膜片的 CMOS 集成硅压力传感器的特性进行了理论的和实验的分析。结果表明:传感器的非线性是由硅膜片的大幅度偏折(deflecti-on)和压阻元件的非线性压阻特性所引起的。文章还指出了将非线性减至最小程度时传感器的最佳结构形式。对所制得的压力传感器的非线性作了测量,其值与数学分析值十分吻合。     

CY1-17E型压力传感器的可靠性评估

提出对结构型压力传感器的可靠性评估方法。结构型压力传感器的可靠性分为结构可靠性和性能可靠性。应用负指数模式综合结构与性能可靠性对压力传感器的可靠性作出评估。说明工程分析与所选用的数学模型计算评估结果是适当的，可作为结构型压力传感器可靠性评估的示例。     

薄膜电容式压力传感器

介绍了利用薄膜工艺制作的一种电容式压力传感器。此种传感器除具有高的常态精度外，突出优点是温度和时间稳定性好，寿命长。介绍此种传感器结构和变换电路的设计思路并分析了此产品在航天测试领域中的应用前景。     

用于铂电阻温度传感器的自动跟踪线性化电桥

一、惠斯登电桥某些类型非电量的测量,归结于测量传感器的电阻增量。温度、压力、应变等物理量的测量,都可用电阻式传感器解决之。通     

基于Ag/CNTs-PDMS的高灵敏度柔性压力传感器研制及性能测试

智能传感的应用对柔性压力传感器的需求量和性能提出了更高的要求,因此,需要开发一种简单、廉价、可批量化的方法实现大范围、高灵敏压力传感器的制造。文章基于压阻效应,采用浸渍-干燥法制备了一种基于镀银碳纳米管-聚二甲基硅氧烷(Ag/CNTs-PDMS)复合结构的柔性压力传感器。研究表明,所制备的压力传感器具有较高的灵敏度(0.718 kPa~(-1))、较宽的工作范围(40 kPa)、较短的响应时间(1.14 s)以及良好的可重复性,有望用于在轨实时压力监测。     

用振动式传感器测量大气的压力、温度和湿度

一、前言长期以来,人们就发展了压力、温度和湿度的测量技术,研制成各种各样的敏感元件和测量装置。现在,在这些测量工作中,广泛利用半导体元件已成为普遍现象。在这里,我们介绍圆形的振动式传感器,根据它们自身频率的变化,可以测量大气的压力、温度和湿     

水击压力传感器现场校准方法研究

介绍了发动机试验水击压力测量的重要性,水击压力传感器进行现场校准方法研究的必要性.通过分析水击压力产生机理、水击压力传感器测量原理,以及对国内外动态校准系统比较分析,设计了水击压力传感器现场校准系统,提出水击压力传感器现场校准装置设计指标、工作方式,校准装置设计难点,同时介绍了现场校准系统的关键技术.并重点论述了水击压力传感器现场校准方法,对水击压力传感器现场试验数据和发动机试验数据进行了比对,分析了水击压力现场校准装置的设计可行性.最后利用校准装置进行了水击压力传感器现场校准试验,对现场校准数据进行计算分析,得到水击压力传感器灵敏度系数、系统校准曲线和上升时间等.还针对试验中水击压力测量干扰信号提出了抗干扰措施.     

遥测产品与技术介绍

为了使遥测技术成果能更广泛地为四个现代化服务,我们开辟了《遥测产品与技术介绍》专栏,向读者推荐我国一些的遥测技术研制成果。欢迎各遥测设备研制、生产单位以及有关单位在本栏介绍您单位的遥测产品与技术。本期的该栏刊登了七机部七○四所的几种传感器和一项试验技术。七机部七○四所从事传感器和变换器的研究、设计工作有二十多年的历史,在设计、研制和测试方面,积累了较丰富的经验。设计、研制了压力、压差、温度、热流、流量、液位、过载、加速度、振动、冲击、噪声、摆角、烧蚀、分离等各种类型的不同量程的多种传感器,满足了遥测和各种测试任务的需要。该所欢迎各部门选用他们的各种传感器和变换器,愿意承担用户提出的研制、设计和试验任务,并可以转让有关研制资料。下面介绍几种传感器和钨铼热电偶高温分度试验。     

压力传感器(静态)自动校准装置

文章介绍了一种自动校准压力传感器(静态)的标准装置,它是利用计算机通过软件对压力标准装置和多路采集器进行控制;并设计了压力传感器接口装置,从而实现了一次对多个压力传感器静态特性的校准。     

国外温度测量技术的现状和动向——英国Transducer/Tempcon′81 Exhibition and Conference专题评述

1981年6月9日到11日,我们北京遥测研究所传感器考察组一行三人应邀参加了在英国伦敦郊区Wembley举行的“81年传感器/温控”展览会和报告会。本届展览会有英、美、法,西德,瑞士、荷兰、丹麦等国的百余家厂商参展,展出了包括温度、压力、流量、位移、振动等多种类型的敏感元件、传感器、测量仪器及设备。这些展品以及报告会上宣读的51篇文章基本上反映了当前传感器研制的国际水平和新动向。     

北京遥测技术研究所MEMS工程中心

北京遥测技术研究所MEMS工程中心位于北京市丰台区东高地四营门北路2号院,中心洁净厂房总面积约1700 m2,是集设计、制造于一体的MEMS传感器产业基地及MEMS技术创新平台。中心根据产品生产需求和先进的工艺设计加工理念,建立了薄膜压力传感器及石英角速率传感器两条批量产品生产线。经过多年来的发展,还建立了碳化硅高温压力传感器、谐振式高精度压力传感器、石英振梁加速度传感器、硅微压力传感器、射频微同轴MEMS器件等先进产品研试线。     

航天部北京遥测技术研究所传感器事业部简介

航天部北京遥测技术研究所传感器事业部是科研、生产、开发、经营相结合的科研机构,是航天部传感器研究力量最集中的单位。拥有近百名科技人员,其中大部分从事传感器和信号调节器研究近30年。拥有高级工程师15名,工程师40余人。1984年开始,招收航天飞行器仪表专业研究生12名。近30年来,传感器事业部主要从事温度、压力、流量、位移、过载、振动、噪声、脉     

带有补偿电路的互换性硅压力传感器

该文介绍硅压阻式压力传感器。利用多晶硅电阻元件补偿温度影响,该传感器工作范围广,有互换性,兼具多种优点。掺入硼杂质,调节温度系数和灵敏度等重要参量。硅片处理包括615℃时用LPCVD法形成多晶硅;两次掺硼;950℃氮中老化30分钟;湿法制作图案。给出特性参数。工作温度-30～+125℃,满刻度输出7.5mV/V。     

一种厚膜应变计式压力传感器

本文介绍一种大批量生产压力传感器的新技术。用这种新技术制得的传感器价廉、长期稳定性好、使用温度范围广。这种新技术使用陶瓷膜片作底基、在膜片上用漏网印刷技术沉积应变计、然后使之高温固化。电阻桥路的输出电压就馈给压力传感器壳体内的混合式信号调制器。因此它能提供高达4.5伏的低阻抗输出或4～20毫安的电流输出。它既可测绝压又可测表压。量程从0.5巴到50巴,工作温度从-40℃到+125℃。