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| 灵敏度温度自补偿薄膜压力传感器的研制 | |
| 作者姓名： | 李小换 张世名 邹其利 郭志萍 |
| 作者单位： | 北京遥测技术研究所 北京100076 |
| 摘 要： | 溅射薄膜压力传感器具有长期稳定性好、耐高温等优点,但是由于受弹性体材料自身特性的影响,传感器的灵敏度温度误差大,大约在1.5×10-4~2×10-4/F.S℃,是导致传感器测量误差大的原因之一。在弹性体上设计加工灵敏度温度补偿电阻,使应变电阻和灵敏度温度误差补偿电阻可以在同一时间感受温度,比在后续电路上进行温度补偿,温度响应快。对灵敏度温度自补偿压力敏感元件进行设计与研制。实测结果表明,采用灵敏度温度自补偿工艺技术的敏感元件,灵敏度温度误差较小,可以控制在0.25×10-4/F.S℃以下,传感器的温度性能得到了提高。 |
| 关 键 词： | 薄膜压力传感器 灵敏度温度自补偿 灵敏度温度误差 |
Research on the Sensitivity-temperature-error-compensating Thin-film Pressure Sensor |
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| Authors: | Li Xiaohuan Zhang Shiming Zou Qili Guo Zhiping |
| Abstract: | |
| Keywords: | Sputtering thin-film pressure sensor Self-temperature-compensation Sensitivity-temperature-error |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |