光刻技术在整体式层板催化剂床研究中的应用

采用自主设计研制的高精度双面自对准光刻模具和标准MEMS光刻工艺技术研制出整体式层板催化剂床板片,简要介绍了光刻工艺原理、工艺流程和工艺过程。光刻加工出的板片满足设计要求,板片经过电镀和真空扩散焊接工艺形成了整体式催化剂床,该床成功地通过了热点火试车。催化剂床床载为16.5g/(cm2·s),分解效率为97%,室压粗糙度小于2%。     

用于共形相控阵天线的纵向互连三维模块

已着手为共形相控阵列技术的可行性研究开发一种基本型X波段三维集成电路（3D-IC）/微电机械系统（MEMS）微波传导模块。用微电子和MEMS加工技术的创新结合作为开发3D-IC加工技术的方法。探讨了可分布于各种任意面的最小模块厚度所必须进行的技术改进。研究初期，作为验证工具，设计、加工了一种基本型无源传导模块并对其作了说明。     

镁合金镀金工艺试验

为了获得结合牢固的镁合金镀金层而开展了工艺试验,包括镀前处理、电镀工艺、电镀溶液制备、采取实际工艺措施,工艺流程的合理化等,经过这些步骤,获得了符合技术要求的镀层.经外观、结合力、潮湿试验和实际使用,均达到了预期目的.     

基于硅基MEMS工艺的快速控制反应镜制作

快速控制反应镜(以下简称快反镜)是光电精密跟踪系统中必不可少的组成部分,在消费电子、医疗、天文望远镜、激光通信等领域中有着广泛应用。基于硅基微电子机械系统(micro-electromechanical system,MEMS,)工艺制作微型快反镜，对于实现快反镜和跟踪系统的小型化、轻量化有重要意义。陈述了一款硅基快反镜的结构设计、工艺选择以及制作攻关过程。通过加工便利性、加工精度、加工可靠性与制作成本的综合分析比较,确定了MEMS深硅刻蚀工艺制作小型化快反镜可动结构技术思路。快反镜的制作中，通过“化面为线”的版图优化减少刻蚀面积解决了深硅刻蚀不匀问题，通过清洗方法的对比和择优解决了反射镜面表面清洁度问题，通过改变金属化方法解决了镜面的面形精度控制问题。测试结果表明，此款基于硅基MEMS工艺的小型化快反镜满足了设计和应用需求。     

基于MEMS技术的微型阀研究

根据微机电系统(MEMS)技术和微型阀技术的研究现状与发展趋势,在微型阀致动机理分析和性能对比的基础上,通过对微型阀结构的理论计算和数值模拟,论证了静电致动和压电致动两种微型阀方案,确定了微推进系统用微型阀的主要技术参数和性能指标;通过结构设计和MEMS工艺攻关,完成了基于MEMS技术的压电致动微型阀原理样件制造,并进行了初步的原理试验验证和性能检测。结果表明,基于MEMS技术的压电致动微型阀原理可行,方案合理;通过进一步的结构优化,解决多层键合和系统封装工艺,可以获得高性能的微型阀,为小型、轻质和集成化微推进系统研制奠定基础。     

北京遥测技术研究所MEMS工程中心

北京遥测技术研究所MEMS工程中心位于北京市丰台区东高地四营门北路2号院,中心洁净厂房总面积约1700 m2,是集设计、制造于一体的MEMS传感器产业基地及MEMS技术创新平台。中心根据产品生产需求和先进的工艺设计加工理念,建立了薄膜压力传感器及石英角速率传感器两条批量产品生产线。经过多年来的发展,还建立了碳化硅高温压力传感器、谐振式高精度压力传感器、石英振梁加速度传感器、硅微压力传感器、射频微同轴MEMS器件等先进产品研试线。     

脉冲镀金在宇航工艺中的应用

脉冲电镀是一项弓队注意的现代技术.目前已有不少论文论述了脉冲电镀的理论和镀层特性.本文重点讨论用钛、不锈钢和铬镍铁合金制造的人造卫星推进元件脉冲镀金工艺及其镀层特性.     

离子浮选法处理电镀废水中铬、铜、锌离子的研究

本课题根据离子浮选原理,通过试验着重研究了含铬、铜、锌离子的航天电镀废水的处理方法及工艺参数的选择。其研究结果表明:离子浮选法处理含铬、铜、锌离子的电镀,废水是一种很好的方法。它可以将废水中的三种离子经处理达到GB(8978—88)的国家排放标准。本课题通过研究还提出了镀件先经干洗剂和表面活性剂清洗、直接回收电镀液95%的研究结果,可供电镀工业中工件清洗选用,可以降低电镀的成本并减轻电镀废水处理工段的负荷。     

基于微机电系统的微推进发展新趋势

纳皮型卫星和卫星编队飞行的发展,对星上推进系统提出了更高的要求,基于微机电系统(MEMS)技术的微型推进系统以此为契机迅速发展起来。基于MEMS技术的微推进除了具有成本低、体积小、质量轻等优点之外,还具有很高的集成度。它利用MEMS加工技术,能将推进系统的推进剂、贮箱、喷嘴、阀门、推进剂进给系统,以及某些微传感器和执行器,甚至控制电路都集成在一个或几个硅片上,再通过键合等微连接装配技术将这些MEMS器件组装在一起,形成功能完善、稳定性高的集成微推进系统。目前国内外对集成式微推进的相关研究大部分都处于设计和试验阶段。随着MEMS技术的不断发展和进步,集成式微推进技术将日趋成熟,并最终广泛应用于微小卫星领域。     

MEMS技术的发展及其在航天领域的应用研究

简述MEMS概念和特点,分析MEMS技术应用于航天领域的优势及其技术发展情况,重点对MEMS技术在微纳卫星领域的应用以及对微纳卫星技术发展的牵引作用进行了研究.     

航天微系统技术综述

航天微系统技术包括专用集成电路(ASIC)、片上系统(SoC)、单片微波集成电路(MMIC)、混合集成电路(HIC)等微电子技术和微机电系统(MEMS)。文章介绍了这几种技术的特点、发展现状,以及在航天中的应用情况和应用前景。ASIC与SoC技术可显著提高电子系统的集成度和性能,已在航天中得到广泛应用。MMIC技术可用于航天器通信载荷和平台的射频通信部件,已在欧美航天器中大量应用,目前正朝高频段发展。HIC主要包括厚膜HIC和薄膜HIC,特别适于功率器件和微波器件的集成,目前国外已有大量产品用于航天,如"国际空间站"(ISS)。MEMS技术可用于航天器导航、热控、推进、光学遥感与通信等系统,甚至可对航天器设计方法产生重要影响,但目前还处于起步阶段。在以上技术领域,我国虽已开展了一些研究,但与国外相比还存在较大差距。文章针对航天微系统技术的产业布局、发展方式等提出了建议,可为我国的发展规划和战略决策提供参考。     

氧化铝的直接电镀

讨论了在氧化铝基板上的厚膜应用领域中采取直接电镀的方法。研究了建立在钯涂层、碳涂层和导电聚合物基础上的三种直接电镀的方法，测定和比较了它们与传统电镀／ 化学镀技术的操作步序、电镀速度和膜层结合力等技术指标。     

Hyper-interspersed nano/MEMS-architecture design for new concepts in miniature robotics for space exploration

Launch weight and volume requirements are substantially decreased by reduction of probe size in exploration mission systems, as mass and volume both scale as the third power of system size. Accordingly, the already quite developed MEMS (Micro Electro Mechanical System) technology, that offers low cost, small, light weight, and increasingly reliable devices through durability and redundancy, is strongly attractive as a near-term technology for significantly reducing the cost to launch and operate space systems. It is shown that the final goal of MEMS technology, i.e. the merging through solid state microdcvices of the functions of sensing, computation, communication and actuation, can lead to a new, biomimetic kind of miniature robotics, particularly suitable for planetary exploration, through molecular mono- electronics/MEMS integration jointly with a hyper-interspersed architecture made up of autonomous units embodying sensors, information processors and actuators. The problem tackled here concerns the basic design of such miniature robots, from some μm to insect size, featuring finely structured intelligent autonomous parts as smart skins, sensory and manipulating members working on the analogue external reality and communicating with their inner molecular level nondiscrete pseudo-analogue information processing networks. The (mesoscopic network)/MEMS units are shown to embody a quantum mechanical/macroscopic world connection, in which the nondiscrete molecular devices allow the automaton parts to perform very complex, fast information processing operations as metaphores of bionic functions like learning, attention, and decision making under uncertain conditions, this last due to the stochasticity inherent in the quantum network. Flexible architectures instead of von Neumann type rigid architectures in addition to hyper-interspersion of autonomous units can be realized through such nano/MEMS devices, and the μm — cm size of the whole robots and their organs allow dynamic biochemical, possibly reaction - diffusion, spatially separated highly nonlinear systems to be exploited as additional primitive computing devices (e.g. chemical oscillators, dissipative biomolecular distributed systems, planar photoactivated enzyme biosensors). Each interspersed unit can be designed as a multilevel nondiscrete system according to the information processing “rank” to be obtained in simulating the biological nervous system activity.     

低温推进剂集成管理技术的发展与启示

低温推进剂集成管理技术(IVF)是实现上面级等航天器长期在轨的新技术思路。通过将液氢液氧长期在轨产生的蒸汽与内燃机技术结合,实现贮箱增压、排气、姿控、沉底、发电功能一体化,减小航天器系统质量,增强任务灵活性。回顾了IVF模块设计的发展过程,探讨了IVF的技术优势,与燃料电池技术、蒸发量控制技术对比分析了IVF技术的使用范围及不足,提出了研究气氢气氧内燃机技术、IVF模块方案设计、系统仿真等关键技术的建议,并展望了其应用前景。     

微纳卫星新型动力系统研究进展

微纳卫星指采用现代技术、微电子技术、机械技术等设计制造的具有高性价比的现代微小卫星。因其具有发射成本低廉、应用灵活等特点,微纳卫星受到各国的广泛关注。微纳卫星动力系统具有良好的发展前景。本文综述了微纳卫星动力系统的发展现状,针对自中和射频离子推力器、离子液体推力器、碳纳米管阵列推力器、石墨烯材料光驱动等几种新型且有望用于微纳卫星推进的方案,简要说明其工作原理,并分析其核心技术以及性能优势。给出了发展建议:提升总冲、功耗、调节精度等参数是微纳卫星动力系统未来主要的发展方向;研发工作中需要重点关注结构工艺、离子束流中和等关键技术。     

量子通信技术及应用研究综述

量子通信技术自20世纪80年代诞生以来,获得了突飞猛进的发展。文章将量子通信技术及应用研究划分为量子通信协议研究、量子通信工程技术研究以及量子通信应用研究等三方面。在对量子密钥分发、量子秘密共享、量子隐形传态和量子安全直接通信等量子通信协议的技术原理、应用领域和研究进展进行分析对比的基础上,对量子光源产生、量子随机数发生、量子纠缠编码和单光子探测等量子通信工程技术的研究现状进行了总结,并对当前世界各国在量子通信链路构建、量子通信网络构建和量子通信系统构建等方面的主要研究进展进行了介绍,指出了量子通信当前存在的通信速率低、传输距离近、制造成本高等问题,明确了未来的发展方向,可以为量子通信技术和应用相关研究提供一定的参考。     

机器视觉在军事领域的应用现状及发展趋势

机器视觉技术凭借其非接触测量、实时性好、可持续工作等优点，在军事领域中有着广阔的应用前景。在对机器视觉光学照明系统、成像系统、视觉信息处理系统等关键技术进行概述的基础上，详细分析了机器视觉技术在军事领域进行典型目标物识别、人员识别、装备缺陷检测等典型场景以及典型军事装备上的应用现状。在此基础上，指出了机器视觉在军事领域的应用，仍然存在视觉传感器硬件系统难以适应极端环境、复杂的军事目标适应性不足、目标识别的实时性难以保证、多传感器融合获取军事目标信息能力缺乏等问题。同时，对机器视觉技术在军事领域应用的未来发展趋势进行了展望，研究分析结果可为机器视觉在军事领域的进一步实用化提供参考。     

地月平动点轨道应用与研究进展

面向未来月球和深空探测任务的需求，调研了地月平动点应用与研究的国内外现状与进展，着重分析了近年来的研究方向、研究内容、技术方法与特点，提出了面向未来月球和深空探测任务的地月平动点应用构想，梳理总结了需解决的相应关键技术，可为未来平动点相关研究与应用提供有益借鉴，以及为我国后续月球和深空探测任务的规划与论证提供参考。     

立方体纳卫星的发展及其启示

介绍了立方体纳卫星的发展概况;对“震动卫星”、Cute系列、“加拿大先进纳太空实验”卫星和Coral卫星平台等典型项目进行了分析,重点对立方体纳卫星的任务、姿态与轨道控制、电源系统、通信系统、星载综合电子和可靠性等方面进行了总结。结合立方体纳卫星快速发展的原因,提出了以下建议：结合在轨服务、深空探测和新技术空间飞行演示试验等应用需求,发展微电子技术、微机电系统技术的航天应用、微卫星平台技术和标准化辅载荷发射接口技术。     

星载天线反射器形面主动控制研究现状与展望

星载天线是卫星系统的重要载荷,在远距离微波遥感、深空探测、军事侦查以及通信等领域起着决定性作用.随着天线频率和增益需求的不断提高,大口径、高精度成为星载天线主要发展方向.传统被动方法难以保证反射器在轨形面精度,而主动控制技术正成为解决这一问题的重要选择.介绍了天线反射器形面主动控制技术相关研究工作的进展,内容涉及形面主...