气体微流量标准装置的测控系统和实验研究

气体微流量标准装置的测控系统在计算机控制下,采用电容薄膜规、光栅尺、铂电阻温度计等高精度传感器测出变容室内气体的压力、体积变化、温度等参量;并在流量测量的动态过程中将变客室内气体的压力波动控制在±０．０１％之内;工作软件实现了对气体微流量标准装置的计算机自动化控制和管理。气体激流量标准装置可以标准１７．１～１．２２×１０－５ＰａＬ／ｓ范围内的气体流量,校准不确定度小于１．９３％;目前它已用于标准漏孔的标定和实用型气体流量计的校准工作中。     

恒压式气体微流量计的设计

恒压式气体微流量计是校准气体微流量的一种装置,校准范围为（１７．１－１＊１０＾－５）Ｐａ．Ｌ／ｓ,不确定度于小于２％,可采用直接测量法和比较测量法对标准漏孔进行校准。文章介绍恒压式气体微流量计的设计方法和结构参数的选择。     

基于静态累积法的极小气体流量测量研究

通过静态膨胀法与固定流导法获得了(10-9～10-14)Pam3/s的氦标准气体流量,并采用静态累积法对所产生的极小气体流量进行了测量,相应的氦离子流上升率在(10-10～10-15)A/s范围.实验结果表明:气体流量静态累积时的离子流波动随流量降低逐渐增大,降至1.69×10-14 Pam3/s时,多个数据点已偏离上...     

正压漏孔校准装置定容室容积测量方法研究

提出了一种正压漏可孔校准装置的定容室容积测量方法,通过在定容室上外接一个容器,并在其内部放置一个体积可以精确计量的金属棒,利用两次膨胀,计算出定容室的容积。该方法的优点是,不需要测量外接容器的容积,也不需要对压力测量值进行绝对校准,测量不确定度小,尤其适合小容积的精确测量。采用这种方法对一台恒压式正压漏孔校准装置的定容室容积进行了测量,分析了测量不确定度,实验结果表明,定容室的容积为9.85 mL,标准不确定度为0.81%,满足了装置的测量要求。     

恒压式气体微流量计的测控系统研制

恒压式气体微流量计的测控系统是在工控机控制下 ,采用电容薄膜规、光电编码器、铂电阻温度计等高精度传感器测量出变容室内气体的压力、体积变化率、温度等参量 ;采用两种恒压控制模式 ,在流量测量的动态过程中将变容室内气体的压力波动控制在± 0 0 1%之内 ;工作软件具有虚拟仪器界面 ,操作方便 ,实现了对流量计的计算机自动化控制和管理。恒压式气体微流量计能够提供 (3 96× 10 -4～ 3 6 4× 10 -8)Pa·m3 /s范围内的气体微流量。在 10 -8Pa·m3 /s范围内的相对合成标准不确定度为 1% ,在 (1× 10 -7～ 1× 10 -4)Pa·m3 /s范围内的相对合成标准不确定度为 0 7%。     

定容式气体微流量校准装置吸放气特性研究

介绍了定容式气体微流量校准装置的组成和工作原理,对流量计吸放气特性进行了实验研究,给出了静态压力上升速率曲线,并对实验结果进行了理论分析,得出了对于结构复杂的真空系统要结合系统各组件的结构、历史使用情况等因素来分析系统的吸放气特性,在一定的温度下长时间全面烘烤是降低真空系统放气率的有效途径。     

正压漏孔校准装置的设计

正压漏孔校准装置是一种校准气体漏率的计量标准设备 ,可采用定容法和定量气体动态比较法对正压漏孔校准 ,校准范围为 10 2～ 5× 10 - 5 Pa· L /s。该文介绍正压漏孔校准装置的校准原理 ,设计方法 ,参数选取。     

气体微流量标准装置

介绍了气体微流量标准装置的工作原理，并对其测量不确定度进行了分析与验证。测试结果表明：流量的校准范围为１７．１～１．２２×１０￣（－５）ＰａＬ／ｓ，不确定度为２％。     

小孔流导法材料放气率测量装置的设计

介绍了小孔流导法测量真空材料放气率的原理和测量装置的设计方案。该装置由真空抽气系统、流导法测量系统、压力测量与质谱分析系统等三部分组成,设计的核心思想是采用对称的双测试室结构设计,可以精确测量测试室和分离规等带来的本底吸放气影响,并可实现实时、动态测量。装置的测量范围为（1×10^-7-1×10^-14）Pa.m^3/（s.cm^2）,温度测试范围为45℃-500℃,极限真空度为5×10^-8Pa。     

m-t法气体质量流量标准装置

m t法即质量时间法。它利用称量出在测量时间内的气体质量来求出所测量的质量流量。介绍了该装置的构成和原理 ,分析了装置的不确定度 ,通过对 1 4圆喷嘴流出系数的实际测量和理论推导 ,得出了 1 4圆喷嘴流出系数的经验公式 ,此公式具有重要的实用价值。该装置的工作压力范围为 (0 .1～ 1.5)MPa ,测量流量范围为 (1～ 10 0 )g s,相对扩展不确定度达1.4× 10 -4 ,远优于国内外气体质量流量标准装置 ,达到了国际先进水平。