1MΩ～100GΩ高值电阻器高精度的校准方法CSCD

高阻计、数字源表等仪器在半导体行业有着广泛的应用. 但目前市场上1MΩ-100GΩ高值电阻器准确度（±1. 0x10-3 -±1. 0x10-2）无法满足高阻计、数字源表等仪器电阻参数的溯源需求. 本文提出了一种高精度的高值电阻器的校准方法,该方法由两个多功能校准源和指零仪组成的比较电桥实现. 根据校准方法组建了1MΩ-100GΩ测量系统,测量结果的不确定度为3. 0x10-5 -8. 0x10-4,可满足市场上绝大部分高阻测量仪器的校准需求.     

1MΩ～100GΩ高值电阻器高精度的校准方法

高阻计、数字源表等仪器在半导体行业有着广泛的应用。但目前市场上1MΩ~100GΩ高值电阻器准确度(±1.0×10-3~±1.0×10-2)无法满足高阻计、数字源表等仪器电阻参数的溯源需求。本文提出了一种高精度的高值电阻器的校准方法,该方法由两个多功能校准源和指零仪组成的比较电桥实现。根据校准方法组建了1MΩ~100GΩ测量系统,测量结果的不确定度为3.0×10-5~8.0×10-4,可满足市场上绝大部分高阻测量仪器的校准需求。     

在100V下校准10kΩ电阻

介绍了在 10 0V下用比较法测量 10kΩ的方法 ,采用与参考电压比较的方法解决大电阻在电压降大于 2 0V的情况下测量准确度低的问题 ,进行了测量不确定度分析 ,不确定度为 10 -6量级 ,并通过国际比对得到证实。     

高阻计检定方法

本文叙述了高阻计的检定方法。高阻计的检定由三部分组成:电压及其倍率的测量、电阻及其倍率的测量和电流的测量。电阻检测范围为10~6～10~(13)Ω,电流检测范围为10~(-5)～10~(-13)A。检定的不确定度为0.1％～3％。     

一种垂直度测量方法及其国际比对

介绍了北京航天计量测试技术研究所参加亚太实验室认可合作组织(APLAC)垂直度测量比对的情况,利用垂直度标准装置对平行直角尺样件的外角和内角进行打表法比较测量,采用样件调转180°测量的误差分离技术,消减了标准装置的垂直度误差影响,并进行测量不确定度分析。比对结果证明所有的测量点获得E_n值小于1的满意结果。     

基于单直角电桥的交流电阻校准装置测量不确定度评定

本文基于单直角电桥原理，以数字式直角电桥源作为双路正交电压信号输出，搭建了交流电阻校准装置，利用单直角电桥的平衡方程，计算出待测交流电阻的阻值作为校准值。在频率1.591 55kHz、幅值有效值1V下，以标准电容100nF、交流电阻1kΩ为测试点，对交流电阻校准装置的测量不确定度进行了评定：建立了基于单直角电桥原理的被校交流电阻的数学模型，分析了测量不确定度的来源，并计算了交流电阻标准不确定度的各个分量。最后根据测量不确定度传播公式对其进行合成，计算得到合成标准不确定度，并通过扩展不确定度得到整个交流电阻校准装置的校准结果。     

基于单直角电桥的交流电阻校准装置测量不确定度评定

本文基于单直角电桥原理，以数字式直角电桥源作为双路正交电压信号输出，搭建了交流电阻校准装置，利用单直角电桥的平衡方程，计算出待测交流电阻的阻值作为校准值。在频率1.591 55kHz、幅值有效值1V下，以标准电容100nF、交流电阻1kΩ为测试点，对交流电阻校准装置的测量不确定度进行了评定：建立了基于单直角电桥原理的被校交流电阻的数学模型，分析了测量不确定度的来源，并计算了交流电阻标准不确定度的各个分量。最后根据测量不确定度传播公式对其进行合成，计算得到合成标准不确定度，并通过扩展不确定度得到整个交流电阻校准装置的校准结果。     

计量标准装置不确定度的分析与评定

不确定度是测量工作的质量和测量结果可信赖程度和评价。按JJF10 5 9- 1999、GJB375 6 - 1999标准规定 ,对我计量测试站的计量标准装置不确定度进行了详细分析 ,并按GJB/J2 74 9- 1996要求对计量标准进行了重复性和稳定性考核以及不确定度的验证 ,最后给出了各项计量标准装置的不确定度。     

恒压式气体微流量计的测控系统研制

恒压式气体微流量计的测控系统是在工控机控制下 ,采用电容薄膜规、光电编码器、铂电阻温度计等高精度传感器测量出变容室内气体的压力、体积变化率、温度等参量 ;采用两种恒压控制模式 ,在流量测量的动态过程中将变容室内气体的压力波动控制在± 0 0 1%之内 ;工作软件具有虚拟仪器界面 ,操作方便 ,实现了对流量计的计算机自动化控制和管理。恒压式气体微流量计能够提供 (3 96× 10 -4～ 3 6 4× 10 -8)Pa·m3 /s范围内的气体微流量。在 10 -8Pa·m3 /s范围内的相对合成标准不确定度为 1% ,在 (1× 10 -7～ 1× 10 -4)Pa·m3 /s范围内的相对合成标准不确定度为 0 7%。     

测量结果的总不确定度的合成方法

本文阐述了正确选用误差合成方法的重要性,介绍了由随机不确定度与系统不确定度合成为测量结果的总不确定度的常用方法,并对这些方法的适用情况做了简单评论。还着重地介绍了苏联国家标准确定的总不确定度的合成公式,该公式在多数情况下可用更便于计算的简化公式替代,文中对可以应用简化公式替代的条件进行了推导和论证。