CMOS 集成硅压力传感器特性的线性分析

作者对最新设计的具有方形硅膜片的 CMOS 集成硅压力传感器的特性进行了理论的和实验的分析。结果表明:传感器的非线性是由硅膜片的大幅度偏折(deflecti-on)和压阻元件的非线性压阻特性所引起的。文章还指出了将非线性减至最小程度时传感器的最佳结构形式。对所制得的压力传感器的非线性作了测量,其值与数学分析值十分吻合。     

半导体压力传感器电路

这里介绍的半导体压力传感器(FPM-05G)具有小型、轻量、精度高的特点。半导体压力传感器利用了硅的压阻效应。在硅晶片上扩散形成电阻层,作成硅膜片,从而提高了压力灵敏度。将扩散电阻层组合成惠斯通电桥,然后将压力转换成电信号再进行处理。     

北京遥测技术研究所MEMS工程中心

北京遥测技术研究所MEMS工程中心位于北京市丰台区东高地四营门北路2号院,中心洁净厂房总面积约1700 m2,是集设计、制造于一体的MEMS传感器产业基地及MEMS技术创新平台。中心根据产品生产需求和先进的工艺设计加工理念,建立了薄膜压力传感器及石英角速率传感器两条批量产品生产线。经过多年来的发展,还建立了碳化硅高温压力传感器、谐振式高精度压力传感器、石英振梁加速度传感器、硅微压力传感器、射频微同轴MEMS器件等先进产品研试线。     

合金薄膜高温压力传感器研究进展

合金薄膜压力传感器克服了粘贴式应变压力传感器的缺点,性能更优良,适应恶劣环境压力测量要求。对合金薄膜压力传感器的工作原理进行了介绍,比较了几种压力传感器的优缺点,并以应用温度范围这一指标为中心论述了镍铬、铂钨及钯铬薄膜压力传感器的性能特点及研究现状。镍铬薄膜传感器适用于中、低温介质压力测量,而铂钨、钯铬薄膜传感器适用于...     

带有调节电路和温度补偿的硅压力传感器

本文介绍一种芯片上带有信号调节功能的硅压力传感器。制作时,在标准的3μmCMDS工艺过程中加入了微机械加工工艺,利用带电化学阻蚀剂的各向异性腐蚀技术,在(100)取向硅片上进行腐蚀。控制膜片厚度,使厚度容差小于0.5μm。在同一膜片上,集成了完整的CMDS测量电路。带压阻元件的惠氏电桥的输出信号由一个仪器放大器放大。该放大器的放大率和温度有关,以便补偿灵敏度随温度的变化。另外,灵敏度本身的变化、偏置和偏置随温度的变化亦予以补偿。芯片还具备微调功能,以便在-40～+125℃范围内对所述各参数进行调节。     

橡胶膜片表面喷霜成因及解决方法

对橡胶制品喷霜的成因从配方设计、硫化工艺、模具、环境条件、氧化影响等方面进行了理论分析，并针对橡胶膜片表面喷霜现象进行了电镜扫描测试及机理分析研究。冷却温度对膜片表面喷霜影响试验表明，膜片制造工艺过程中膜片启模后，冷却温度控制在0～15℃可有效解决膜片表面喷霜问题。     

苛刻环境下使用的多功能薄膜传感器

本文描述了NASA格林研究中心开发研制一种最低程度介入的集成传感器的工作情况,该传感器是为了实现高温环境下实时应变、热流的测量.该传感器可封装为单一个体,可同时反映材料和组件的应力、应变等多种模式,这在发动机研制和确认阶段是非常有用的.一个主要的技术难题是把目前几种测量用的专一传感器结合起来,集成为单个的薄膜传感器.研究的最终目标是把传感器直接淀积(或生成)在发动机部件内部,或淀积在一个小而薄的基底膜上,可以把该膜粘贴在要测量的发动机组件上.目前已制造出了几个铂、铂-铑合金和氧化铝传感器样件,传感器安装在应力不变的氧化铝梁架上,在试验室进行了试验.本文讨论了设计、结构工艺及试验方面的技术难点,并列出了传感器的初步试验数据,同时还讨论了今后传感器的发展方向.     

用于铂电阻温度传感器的自动跟踪线性化电桥

一、惠斯登电桥某些类型非电量的测量,归结于测量传感器的电阻增量。温度、压力、应变等物理量的测量,都可用电阻式传感器解决之。通     

16MnR低合金钢管板带极堆焊工艺研究及应用

某裂解反应器设计压力0.94MPa,设计温度340℃,工作介质为甲醇、氢、一氧化碳等,换热器管板基体材料为16MnR低合金钢。为提高设备抗高温氢、一氧化碳等介质的腐蚀性能,要求在其表面堆焊耐蚀不锈钢堆焊层。因此,管板不锈钢堆焊质量是整个换热器制造的关键。本文通过对焊接方法、材料及工艺的选择等方面的研究确定出最佳的焊接工艺规范参数。试验证明此工艺方法合理、可行,施焊效果良好,各项试验结果均符合设计技术要求。     

光纤传感器对合金结构瞬态高温应变测量的适用性研究

高温下结构应变测量数据的重复性是判断测量结果有效性的前提和基础。文章采用石英灯辐射加热技术构建瞬态辐射加热环境，以薄壁平板型合金材料结构为测量对象，对光纤应变传感器在瞬态加热环境下应变测量数据的重复性进行实验研究，以确定其对合金材料瞬态高温下应变测量的适用性。结果表明:光纤传感器与K型热电偶的测温偏离量小于1.76%；在安装面加热状态，瞬态加热温升速率最高达到18 ℃/s，结构最高温度达到850 ℃，此温度下测得的结构件最大应变为9 848.2 με，3次实验测量数据的重复性优于1.42%；非安装面加热状态、结构温度650 ℃下的3次测量数据重复性为0.95%，且与安装面加热状态、相同温度下的测量数据平均值的相对差异仅为0.67%。综上说明，所采用的光纤应变传感器适用于石英灯瞬态辐射加热环境下合金结构件的应变测量。     

光纤光栅传感器在固体推进剂内部应变测量中的试验研究

针对固体推进剂内部应变监测的难题,采用仿真与试验相结合的方法,开展了光纤光栅(FBG,Fiber Bragg Grating)传感器在固体推进剂内部应变的测量研究。研究中采用增加增敏结构的方法解决FBG应变测量传感器与固体推进剂的变形协调性问题,通过数值仿真初步筛选了增敏球尺寸,结合仿真结果设计并加工了植入4种不同结构(不带增敏结构和带有2 mm、3 mm、4 mm增敏小球)的FBG应变测量传感器的固体推进剂试件,并对试件开展不同加载速率下的拉伸及压缩试验。结合试验结果分析了增敏小球直径、加载方式与加载速率对固体推进剂内部应变测试结果的影响,获得了内埋FBG传感器的固体推进剂内部应变变化规律。研究表明,采用增敏小球结构可有效解决FBG应变传感器与固体推进剂的变形协调性问题,大幅提高应变测量的灵敏度与传递效率,且增敏小球直径越大传递效率越高。所得研究成果可为FBG传感器用于固体发动机药柱应变监检测提供技术支撑。     

从应变计现状看电阻式传感器的前景

电阻式传感器的核心部件——电阻应变计是目前最常用的应力分析的敏感元件。也常用于测量力、压力、扭矩和加速度等物理量。作者简要回顾了电阻应变计的发展历史，介绍了电阻应变计的结构、分类及现状，展望了电阻式传感器的前景。     

BPR—3型压力传感器使用中应注意的几个问题

ＢＰＲ－３型压力传感器是一种结构较为特殊传感器，适用于高温动态压强的测量。本文介绍了这种传感器的结构特点其在固体火箭发动机动态压强测量时，热流，容腔，振动及冷却水等因素的影响。     

智能化传感器的研究初探

智能化传感器是一种带有微处理器兼有检测和信号处理功能的传感器。本文所说的智能化传感器是一种压力、温度信号测试一体的传感器，它可同时实现压力和温度信号的检测，而温度信号又作为对压力传感器温度特性补偿的依据。由于它具有很高的测量精度和极快的测量速度，因此是气动静态压力测量中理想的仪表。     

测量快速变化应变的电桥

一种脉冲供电的惠氏电桥可用于测量大的、快速变化的应变值。它以薄膜应变片为敏感,元件,主要用于冲击试验。该电路也适用于其他电阻传感器(如压力计、温度计等)。和通常的应变测量设备相比较,它的信噪比提高了6倍。它能用离散取样测量静态应变,或用每秒10000次取样速度在35～200μs 时间里测量动态应变。     

不锈钢板式热沉液压胀形工艺参数仿真分析

不锈钢板式热沉具有低温性能好、生产周期短、生产成本低等特点,已经广泛应用于国外航天器环境模拟试验设备中,是热沉发展的新趋势.为掌握不锈钢板式热沉的加工工艺,建立不锈钢热沉液压胀形有限元分析模型,研究滚弯预成形工序、边界压紧力和焊点布局等工艺参数对热沉位移分布、应变分布和厚度分布的影响,以及焊点布局、胀形压力对流道高度和...     

压力传感器静态特性自动校准装置的研制

介绍ＹＺＸ－５００压力传感器静态特性自动校准装置的工作原理、结构组成、控制方法等。该装置是用标准传感器标定压力值的大小，用压缩液体的办法制造高压，通过使用计算机对一个机械传动机构进行模糊控制解决了自动加压问题。是集自动加压、自动采集数据、自动处理数据于一体的新型压力传感器自动校准装置。     

液体火箭发动机试验动应变参数测量工艺技术

介绍了液体火箭发动机地面试验中动应变测量系统的测量工艺技术。分析了长电缆对应变片灵敏度的影响因素，介绍了应变片的粘贴工艺，分析了动应变测量系统干扰信号的来源和抗干扰的技术措施，同时分析了温度对动应变测量系统的影响及工艺改进方法。     

基于Ag/CNTs-PDMS的高灵敏度柔性压力传感器研制及性能测试

智能传感的应用对柔性压力传感器的需求量和性能提出了更高的要求,因此,需要开发一种简单、廉价、可批量化的方法实现大范围、高灵敏压力传感器的制造。文章基于压阻效应,采用浸渍-干燥法制备了一种基于镀银碳纳米管-聚二甲基硅氧烷(Ag/CNTs-PDMS)复合结构的柔性压力传感器。研究表明,所制备的压力传感器具有较高的灵敏度(0.718 kPa~(-1))、较宽的工作范围(40 kPa)、较短的响应时间(1.14 s)以及良好的可重复性,有望用于在轨实时压力监测。     

用四氯化碳清洗传感器的危害

文章说明用四氯化碳溶剂清洗压力传感器感压内脏，造成４Ｃｒ１３带材做的弹性波纹膜片是脆性破裂．用聚氯乙烯塑料薄膜包装产品，经三年时间贮存后出现产品壳体为黄黑色的故障结果。进而查找技术依据，认识到氯和含氯化合物的危害性的一面。故提出禁用四氯化碳溶剂清洗压力传感器的感压内脏。不用聚氯乙烯薄膜做产品包装袋。以利于提高产品的贮存可靠性．