满足一等量块检定要求的接触式激光量块干涉仪

最新研制的接触式激光量块干涉仪主要用于测量一、二等量块的中心长度，其长度测量不确定度达到（0.02 0.2L)μm。文中介绍了其工作原理、测量不确定度分析，给出了量块测量的验证数据。     

Ф300mm大口径平面等厚干涉仪波面数字化技术改造

介绍了把Ф300 mm口径平面等厚干涉仪改造为移相式数字平面干涉仪的基本情况。改造后的仪器采用液面基准的系统误差校准方法,在Ф300 mm口径时的最大允许误差为76 nm（PV值）,测量重复性为4 nm,满足相关使用要求。     

量块的电脑化测试装置

接触式干涉仪是计量部门测试三等量块的法定仪器。本文介绍了一种基于接触式干涉仪的量块自动测试系统，它以光电探测替代目视估测，免除操作人员的视力疲劳，并能自动处理数据。软件系统以最新的国家检定标准编制，易学好用。     

用于精密和超精密测长的双频激光干涉仪

叙述了双频激光干涉仪在精密和超精密测长技术领域中的应用，讨论了双频激光干涉仪所涉及的关键技术，提出了在应用中需要进行的误差处理，目的是提高在精密和超精密测长应用中的测量精度。     

光纤外差干涉位移传感器

非接触式光纤外差干涉位移传感器是将半导体激光器线性调频技术和光纤传感技术相结合制成的1种新型外差干涉仪。它的位移测量范围可达26mm，分辨率为0．02μm；对不同材料、不同粗糙度的对象面，有着几乎相同的测量灵敏度和测量精度；探头和对象面无需严格垂直。     

许氏模型方法及其应用研究

本文针对外测系统鉴定试验中的精度估计问题,在多个测量通道(含非定常系 统性误差、各通道的误差不等精度和数据分段)情况下,较细致通俗地介绍了许氏(许宝(马录))模型方法。作为特例,导出了单通道情况下熟知的白塞尔公式和常规统计公式。给出了干涉仪对运载火箭测量数据计算的部分结果。计算表明:干涉仪各通道系统性误差呈低频周期性。     

激光干涉位移测量系统的环境误差补偿

激光干涉仪在长度测量领域应用十分广泛,然而其测量精度直接受环境的影响,特别是空气折射率变化会引入标尺误差。通过对激光干涉位移测量原理及其误差源的研究分析,建立了环境误差补偿模型,消除了零点误差和空气折射率误差。设计了分别适用于环境条件好、小量程测量的双干涉自补偿系统和适用于复杂环境、大量程测量的多点测量综合修正的补偿系统,对环境误差进行修正。     

两米光栅——线纹自动测量仪（一）

描述了一台能够对长度达１ｍ的线纹尺和长度达２ｍ的光栅尺（线位移传感器）进行测量的激光干涉仪，干涉仪设计成了双干涉光路系统，以消除光栅尺安装引入的阿贝误差，这台测量仪采用干涉条纹计量原理，对光栅尺和线纹尺的线值精度进行检测，并能对光机信号的质量进行评价。测量过程中，对空气折射率实现了实时修正。     

波面激光干涉仪在超精密加工中的应用

介绍了超精密加工的发展趋势和技术特点,介绍了波面激光干涉仪的测量原理及使用技巧,重点阐述了如何在超精密加工的多个环节,如工件检测、精密对刀、误差补偿中发挥波面激光干涉仪的作用。     

仅用相位差变化率的机载单站无源定位方法及其误差分析

针对以往单站无源定位系统中长短基线干涉仪系统复杂、角度测量易受干涉仪通道幅度/相位不一致的影响等问题,提出了一种仅仅利用长基线干涉仪(LBI)的相位差变化率实现单站无源定位的新方法,并对该定位方法误差的克拉美-罗下限(CRLB)进行了推导和分析,计算并分析了不同的干涉仪基线安装方向、不同的观测器运动方式下的定位误差几何分布(GDOP)。结果表明,仅用相位差变化率定位时,为了达到侧翼最好精度,干涉仪最好平行机身安装;为了达到侧前方较好精度,干涉仪需垂直安装;观测器的运动姿态最好发生某种机动变化。     

二等量块标准装置不确定度评定

以二等标准量块做标准器、接触式干涉仪为比较仪检定三等量块时，标准装置不确定度评定。     

双频激光干涉仪在SMART-CNC曲面磨床几何误差参数辨识中的实验研究

在对SMART-CNC磨床几何误差建模及对某双频激光干涉仪工作原理分析的基础上,针对该磨床的误差参数辨识进行了实际测量中的应用,并以检测结果作为数控机床误差补偿的前提进行几何误差补偿。     

基于模型大扭角叶片的三维矢量测量技术

针对接触式坐标测量机测量大扭角叶片截面存在余弦误差的问题，提出了基于模型的矢量测量方法。本文对此方法的测量精度及测量效率等方面进行论述，并通过实例验证了基于模型的矢量测量方法在精度与效率等方面优势，实现了此测量方法的工程化应用。     

偏振光干涉计量中的椭圆偏振化误差分析

主要分析两束相互垂直的线偏振光经过金属反射镜反射后引起的椭圆偏振化的不对称性，并研究由此产生的非线性误差的变化规律，这对提高偏振光外差干涉仪的测量精度是极为重要的。     

移动桥式三坐标测量机Z轴运动的动态误差

分别从理论上和实验上对移动桥式三坐标测量机Z轴运动的动态误差进行了分析,对Z轴进行了力的分析。用激光干涉仪对Z轴运动时的主要动态误差进行了测量,指出了此时影响动态误差的因素。提出了改进移动桥式三坐标测量机设计的措施,为移动桥式三坐标测量机实现高速测量状态下的高精度提供了依据。     

移相干涉中移相误差测量与补偿

移相干涉测量中对移相器的移相误差进行测量与补偿是提高该测量方法准确度的有效手段。通过研究移相干涉移相误差对测量结果的影响,提出了测量移相器工作时位移与角度变化的方法,建立了相应的实验测量装置,实现了移相器的位移及角度变化的测量。根据移相器中位移与角度的数学关系完成了移相误差的补偿,修正后的移相效果在移相干涉仪中采用了整周期移相干涉图灰度差值的方法进行了验证。     

基于数据拟合提高非球曲面面形精度的方法

介绍了采用LVDT在线测量非球曲面的原理,并给出最小二乘数据拟合处理方法;通过试验加工球面和非球面元件,利用LVDT测量头进行在位检测,评估面形精度,经数据拟合插补和误差控制,并采用激光干涉仪测量验证后表明,该算法可以应用于高精度非球面测量及加工误差补偿程序,以提高非球曲面加工精度.     

干涉仪锁相环等效噪声带宽高精度测量的仿真实现

本文论述了通过MATLAB软件对干涉仪锁相环及其等效噪声带宽测量的建模和仿真，验证了实现干涉仪锁相环等效噪声带宽高精度测量的正确性和可行性。     

自由曲面光学元件检测方法研究

本文提出了一种通过检测数据重构自由曲面进行面形误差计算的方法。首先,通过轮廓检测设备,采用回转法测量自由曲面光学元件得到测量数据,然后,利用matlab进行重构算法实现,插值计算得到面形误差。最后,通过测量标准球面,将计算结果与激光干涉仪的结果进行对比试验,面形PV值符合,验证了该方法的有效性,为以后进行自由曲面磨抛加工提供了依据。     

多路激光跟踪干涉仪坐标测量系统的容错设计

介绍容错设计思想在由多路激光干涉仪构成的柔性坐标测量系统中的应用。由于采用了硬件冗余、软件冗余等技术，不但使该测量系统具有自我标定的能力，而且可恢复因测量过程中“丢光”现象而造成的干涉仪丢失的测量数据。并用三路单轴跟踪系统实现了二维坐标测量。