薄膜压力传感器高抗电介质层技术研究

SiO_2薄膜是薄膜压力传感器绝缘层的一种常用材料,其性能直接影响着传感器的抗电能力。利用化学气相沉积系统(CVD)对SiO_2薄膜的制备工艺进行了探索和优化,通过改变射频功率、反应气体流量比,制备出适用于高抗电薄膜压力传感器的SiO_2绝缘层,其抗电能力可达300V/AC。     

苛刻环境下使用的多功能薄膜传感器

本文描述了NASA格林研究中心开发研制一种最低程度介入的集成传感器的工作情况,该传感器是为了实现高温环境下实时应变、热流的测量.该传感器可封装为单一个体,可同时反映材料和组件的应力、应变等多种模式,这在发动机研制和确认阶段是非常有用的.一个主要的技术难题是把目前几种测量用的专一传感器结合起来,集成为单个的薄膜传感器.研究的最终目标是把传感器直接淀积(或生成)在发动机部件内部,或淀积在一个小而薄的基底膜上,可以把该膜粘贴在要测量的发动机组件上.目前已制造出了几个铂、铂-铑合金和氧化铝传感器样件,传感器安装在应力不变的氧化铝梁架上,在试验室进行了试验.本文讨论了设计、结构工艺及试验方面的技术难点,并列出了传感器的初步试验数据,同时还讨论了今后传感器的发展方向.     

BPR—3型压力传感器使用中应注意的几个问题

ＢＰＲ－３型压力传感器是一种结构较为特殊传感器，适用于高温动态压强的测量。本文介绍了这种传感器的结构特点其在固体火箭发动机动态压强测量时，热流，容腔，振动及冷却水等因素的影响。     

北京遥测技术研究所MEMS工程中心

北京遥测技术研究所MEMS工程中心位于北京市丰台区东高地四营门北路2号院,中心洁净厂房总面积约1700 m2,是集设计、制造于一体的MEMS传感器产业基地及MEMS技术创新平台。中心根据产品生产需求和先进的工艺设计加工理念,建立了薄膜压力传感器及石英角速率传感器两条批量产品生产线。经过多年来的发展,还建立了碳化硅高温压力传感器、谐振式高精度压力传感器、石英振梁加速度传感器、硅微压力传感器、射频微同轴MEMS器件等先进产品研试线。     

薄壁大尺寸铌钨合金喷管精密旋压成形工艺研究

通过对铌钨合金性能的研究,得到了铌钨合金一次旋压最大减薄率,采用变厚度平板旋压毛坯,合理分布两次剪切旋压变形量和各点壁厚变薄率,控制旋压过程,应用仿真软件对翻边成形进行仿真,掌握了薄壁大尺寸铌钨合金喷管精密旋压及翻边成形技术.     

钨与钨合金研究

介绍了钨与钨合金的烧结工艺、组织结构与力学性能，通过应用，说明了钨与钨合金由于其优良的高温强度、高的导电、高导热性、抗烧蚀性能而得到广泛应用。在今后的研究工作中，材料的制备工艺将是重点，对于高比重W－Ni－Fe、W－Ni－Cu等系列合金，则侧重优化烧结工艺，通过后续的热处理和形变强化来进一步提高性能。     

测量快速变化应变的电桥

一种脉冲供电的惠氏电桥可用于测量大的、快速变化的应变值。它以薄膜应变片为敏感,元件,主要用于冲击试验。该电路也适用于其他电阻传感器(如压力计、温度计等)。和通常的应变测量设备相比较,它的信噪比提高了6倍。它能用离散取样测量静态应变,或用每秒10000次取样速度在35～200μs 时间里测量动态应变。     

带不锈钢隔膜的硅压阻压力传感器

带不锈钢隔膜的硅压阻压力传感器在航天等许多领域应用很广。它的压力应变膜片是硅应变膜片，其制造工艺是集成电路及微机械加工工艺。将不锈钢隔膜、灌充液及硅应变膜片有机地结合起来，使传感器的精度高、可靠性好、稳定性好及动态性能好，不但用于普通气体及液体的压力测量，还可用于腐蚀性介质的压力测量。文中介绍其工作原理、结构、制造工艺及技术指标最后指出今后研究的工作重点。     

用于铂电阻温度传感器的自动跟踪线性化电桥

一、惠斯登电桥某些类型非电量的测量,归结于测量传感器的电阻增量。温度、压力、应变等物理量的测量,都可用电阻式传感器解决之。通     

音叉振动电容式表面电位测量装置设计

文章针对振动电容式表面电位测量传感器核心组件——振动音叉进行详细设计,分析得出适用于电位检测的音叉振动形式,确定出音叉结构参数及驱动方式;进行基于传递函数的传感器灵敏度及精度影响因素分析;提出基于电荷感应与静电场仿真的电位测量装置设计方法,得到的传感器灵敏度与理论计算结果一致,并最终通过样机标定实验验证了传感器设计的正...     

薄膜测厚验证QCM质量敏感性的方法研究

石英晶体微量天平(QCM)是测量气相薄膜沉积质量的精密仪器。QCM质量和频率的相互作用受到众多不确定因素的影响,因此需要进行验证以取得更为精确的结果。文章从石英晶片的基本理论出发,以薄膜测厚为基础,研究了气相沉积石英晶体微量天平差频变化率和沉积厚度变化率成线性关系,阐述了线性关系是验证石英晶体微量天平的关键,并对测厚验证质量敏感性的可行性进行了分析。     

不同材料安装底座对冲击传感器灵敏度影响试验研究

传感器在航天器上螺接安装时需增加安装底座。针对聚酰亚胺等非金属材料安装底座可能存在降低冲击传感器安装谐振频率从而引起传感器灵敏度误差的问题设计铝合金材料安装底座,并分别进行冲击传感器不带安装底座、带聚酰亚胺安装底座和带铝合金安装底座3种情况下的灵敏度检定试验,以验证不同安装方式对冲击传感器灵敏度的影响。试验结果表明,安装底座由聚酰亚胺更改为铝合金材料后可有效提高传感器与安装底座组合体的固有频率,且引起的传感器灵敏度误差在±5%以内,远低于使用聚酰亚胺安装底座的情况,能够满足实际测量需求。     

Advanced thin-film materials processing in the ultra-vacuum of space

The utilization of the vacuum of space for thin-film materials development has been pioneered by the Wake Shield Facility (WSF) program. The WSF is a 4 m diameter disc-shaped free-flying platform designed to generate an ultra-vacuum in low earth orbit (LEO) space, and to utilize that ultra-vacuum for the fabrication of thin-film materials by epitaxial growth. In the three flights of WSF, high-quality GaAs-based epitaxial thin films were grown, vacuum quality was assessed, and cooperative experiments were activated. The promising results on high-purity film growth indicate future benefits of thin-film materials fabrication in LEO for terrestrial applications in high-performance electronic devices.     

光纤传感器对合金结构瞬态高温应变测量的适用性研究

高温下结构应变测量数据的重复性是判断测量结果有效性的前提和基础。文章采用石英灯辐射加热技术构建瞬态辐射加热环境，以薄壁平板型合金材料结构为测量对象，对光纤应变传感器在瞬态加热环境下应变测量数据的重复性进行实验研究，以确定其对合金材料瞬态高温下应变测量的适用性。结果表明:光纤传感器与K型热电偶的测温偏离量小于1.76%；在安装面加热状态，瞬态加热温升速率最高达到18 ℃/s，结构最高温度达到850 ℃，此温度下测得的结构件最大应变为9 848.2 με，3次实验测量数据的重复性优于1.42%；非安装面加热状态、结构温度650 ℃下的3次测量数据重复性为0.95%，且与安装面加热状态、相同温度下的测量数据平均值的相对差异仅为0.67%。综上说明，所采用的光纤应变传感器适用于石英灯瞬态辐射加热环境下合金结构件的应变测量。     

光纤法布里-珀罗传感器及其高温应用

随着航天技术不断发展，大推力运载火箭等精细化设计需求日益增加，飞行器高温工况结构及流场状态感知已成为当前研究的关键环节。基于法布里-珀罗干涉结构的光纤传感器在高温、高压、狭小空间等特殊环境展现出独特优势，被视为下一代高温原位测量工具。介绍了法布里-珀罗传感器的基本结构及原理，并分别从温度、应变和压力监测方面介绍了法布里-珀罗高温传感技术研究进展以及未来的发展趋势。基于石英光纤的法布里-珀罗传感器能够应用于1000°C以下环境，对于1000°C以上环境，需要以蓝宝石光纤作为敏感元件和传光介质。     

轻质高性能镁合金开发及其在航天航空领域的应用

镁合金是实际应用中最轻的金属结构材料,在航天航空、轨道交通、汽车、3C(computer,communication,consumer electronics)产品等领域具有广阔的应用前景。但镁合金材料强度偏低,尤其是高温强度,其抗蠕变性较差；镁合金铸件容易形成缩松和热裂纹,成品率低,镁合金变形件塑性加工条件控制困难,导致组织与力学性能不稳定。介绍了高性能镁合金材料(非稀土镁合金、含稀土镁合金、镁锂合金)及其成形技术(重力铸造、低压铸造、压铸、挤压铸造、半固态成形、塑性成形)的开发现状,综述了其在航天航空领域的应用状况,并展望了今后的发展趋势。     

钛合金高压气瓶表面裂纹程序载荷谱试验的结果和分析

本文介绍两个带有疲劳表面裂纹的钛合金高压气瓶在程序载荷谱下的试验结果,并对它作了简单的分析。结果表明,即使气瓶具有“最大可能出现”的表面裂纹,它在公路运输及地面贮存保压过程中也是安全的。利用我们推导的表面裂纹半经验公式,参考NASA的K_(TH)/K_I实验数据,估计了在使用载荷作用下,气瓶在水介质中贮存保压较长时间裂纹不产生扩展的临界尺寸。     

基于并行禁忌遗传算法(PTGA)的预警卫星传感器调度研究

对预警卫星的传感器调度进行了研究，提出了传感器管理调度的系统组成。通过对传感器调度的分析，建立起相应的数学模型，定义了评价指标。结合并行遗传算法和禁忌搜索的特点，提出了一种新的解决预警卫星传感器调度问题的并行禁忌遗传算法(PTGA)。该算法采用多种群和禁忌搜索思想改进遗传算法的性能，从而提高整个算法的收敛速度和精度。实验结果表明该算法有效地解决了多目标情况下的传感器实时调度问题，并优于一般启发式算法。     

电磁阀启闭特性非接触测量方法研究

为实现对电磁阀特性进行非接触测量,通过分析电磁阀动作时周围漏磁场的变化,设计了一种新型磁敏感器.该磁敏感器结构简单,操作方便,通过采取合理的抗干扰措施可充分降低旁磁场的影响,提高电磁阀漏磁场测量的可靠性.利用本磁敏感器对实际电磁阀的启、闭特性进行了测量.结果表明,该方法可靠性高,满足电磁阀非接触测量的需要.     

舱压对载人航天器密封舱姿态光学敏感器安装精度影响分析

姿态光学敏感器是航天器在轨姿态控制的重要部件,其安装精度直接影响航天器的姿态控制精度。为了研究舱压对载人航天器密封舱姿态光学敏感器安装精度的影响,以某载人航天器密封舱外安装的姿态光学敏感器为研究对象,通过对其安装精度要求、安装状态与舱体变形情况的分析,提出了一种敏感器在设计阶段布局的分析方法。在地面进行了模拟充压试验,验证了分析方法的有效性。根据分析和试验结果在型号后续设计中进行了相应的布局改进,改进结果满足了敏感器安装精度要求并经过了飞行试验验证。