带有补偿电路的互换性硅压力传感器

该文介绍硅压阻式压力传感器。利用多晶硅电阻元件补偿温度影响,该传感器工作范围广,有互换性,兼具多种优点。掺入硼杂质,调节温度系数和灵敏度等重要参量。硅片处理包括615℃时用LPCVD法形成多晶硅;两次掺硼;950℃氮中老化30分钟;湿法制作图案。给出特性参数。工作温度-30～+125℃,满刻度输出7.5mV/V。     

CY5系列压阻式压力传感器

CYS系列压力传感器是利用半导体的压阻效应制成的压阻式压力传感器。自1985年鉴定以来,根据一些用户的使用要求,已派生出不同用途的许多品种和规格。这些产品经过试验和试用,证明其性能良好,可投入小批量或批量性生产,供用户选用。下面对这种传感器作一介绍。     

半导体复合机能压力传感器

该文讨论复合机能压力传感器的工作原理。以差压检测器为例,说明复合机能压力传感器的应用。利用该传感器,可以从差压、静压求得质量流量。在气体条下,还可对压力的影响进行修正。今后,若数字传输信号达到标准化,使用多路信息传输技术,复合机能传感器的价值会得到更大的发挥。     

脉冲调制输出的CMOS集成硅气体流量传感器

现已研制成功一种具有脉冲调制输出的单片集成热式气体流量传感器,其输出脉冲宽度比和流速有关。制造这种传感器时,除使用EDP各向异性刻蚀剂制作传感器外形之外,其余均采用标准的CMOS工艺。传感器的加热部分和非加热部分之间用聚酰亚胺隔热。传感器具有内部气体温度补偿装置。在2～30m/s流速范围内,传感器的灵敏度为0.03m/s。按传感器的设计。本传感器也适合于双线式结构形式     

气体压力计

历来,在10气压至0.0001mbar压力范围内连续将压力变换成电输出的压力计中,有利用作用于弹性隔膜上的压力差式隔膜压力计和利用热传导作用的比拉尼真空计等。它们都已获得广泛的应用。但这些压力计有下列缺点:①一个感压元件所能感测的压力范围只在4个数量级以内,②使用温度受到限制,③各个传感器的结构复杂,体积也较大,在大压差作用下,压力接受部会发生破坏,④响应比较缓慢等。     

带有温度补偿电路的IC化电力传感器

日立制作所研制一种小型、高性能的IC化压力传感器。它是利用了硅的压阻效应(当加压力时,晶体电阻发生变化的现象)。由于附带了独特的温度补偿电路,使这类压力传感器所存在的温度误差减小了。     

固体火箭发动机用高频响压力传感器设计

某固体火箭发动机在试验过程中发生了在压力变化频率超过1 k Hz情况下压力信号部分失真的问题,为解决这一问题,对压力传感器的传压结构进行优化设计,选用硅压阻原理的高频响敏感芯体,选用高增益带宽积的仪表放大器,同时增加时间连续型高阶低通滤波电路设计,分别对传感器的传压结构、敏感芯体、仪表放大器、时间连续型高阶低通滤波电路的幅频特性进行了仿真分析、试验验证。结果表明,优化后的固体火箭发动机用高频响压力传感器频率响应可以达到1k Hz以上,带内不平度不大于1 d B,带外衰减不小于35 d B/oct,具有良好的幅频特性,能够准确测量固体火箭发动机工作压力,且无压力信号失真。     

硅压阻式湿度传感器

介绍应变式湿度传感器的工作原理,以硅压阻元件为基础,制作了湿度传感器、组成桥式电路,得到电压输出,湿度与输出呈直线关系,滞后特性甚小,满足实用要求。     

压力传感器静态特性自动校准装置的研制

介绍ＹＺＸ－５００压力传感器静态特性自动校准装置的工作原理、结构组成、控制方法等。该装置是用标准传感器标定压力值的大小，用压缩液体的办法制造高压，通过使用计算机对一个机械传动机构进行模糊控制解决了自动加压问题。是集自动加压、自动采集数据、自动处理数据于一体的新型压力传感器自动校准装置。     

卫星姿控仿真系统中的力矩传感器

在卫星姿态控制半物理仿真系统中 ,执行机构飞轮的输出力矩多采用通过对飞轮转速度化的计算来获得。本文提出一种基于力反馈原理的力矩传感器 ,用它对飞轮输出力矩测量 ,其性能指标明显优于上述方法。从有关实验结果看 ,一个精度高于 0 0 0 0 5N·M的力矩传感器是完全可以实现的     

带不锈钢隔膜的硅压阻压力传感器

带不锈钢隔膜的硅压阻压力传感器在航天等许多领域应用很广。它的压力应变膜片是硅应变膜片，其制造工艺是集成电路及微机械加工工艺。将不锈钢隔膜、灌充液及硅应变膜片有机地结合起来，使传感器的精度高、可靠性好、稳定性好及动态性能好，不但用于普通气体及液体的压力测量，还可用于腐蚀性介质的压力测量。文中介绍其工作原理、结构、制造工艺及技术指标最后指出今后研究的工作重点。     

小型变气隙电感式压力传感器

本文介绍一种第二代小型电感压力、压差传感器Cy3—8、Cy3—9型,它具有体积小、结构坚固并具有较高精度,可在恶劣的环境条件下可靠工作,它与专用的小型变换放大器yA12—6、yA12—7配套使用。适用于宇航、航空和工业遥测、遥控中,本文将介绍这种传感器的工作原理、设计计算方法、传感的结构工艺特点和该传惑器目前达到的性能指标水平。     

美军的EW研制重点与方向

美国防部最近公布了第2批涉及高技术的国防部关键技术计划,所列入的高技术将广泛应用于军事系统,更重要的是可使美国继续保持技术优势。其中许多项目可应用到EW系统,有3项直接与EW系统有关,即无源接收机,信号处理和特征控制。无源传感器今后将越来越重要,它可以抵消和减少敌方对许多频段的可观察特性。这项计划包括各种无源传感器,ESM,红外/光电传感器,声传感器和多谱传感器。国防部正研制无源传感器上使用的许多重要的微波和毫米波技术。新技术将把威胁告警接收机和ESM能力扩充到更广泛的电磁频谱领域上。     

可见光和红外传感器的飞行实验

可见光和近可见光传感器在研究阶段初期曾被广泛应用,后来,微波传感器的出现使其相形见拙。然而,在近期的大量新一代传感器的飞行实验中,这种传感器大有东山再起之势。本文将简要介绍可见光及红外等第一代传感器及其在机载实验中的使用情况,叙述从机械式到推扫式扫描仪再到非扫描传感器的发展过程。本文所提及的传感器均为法国及欧洲最新的传感器设备。     

CMOS 集成硅压力传感器特性的线性分析

作者对最新设计的具有方形硅膜片的 CMOS 集成硅压力传感器的特性进行了理论的和实验的分析。结果表明:传感器的非线性是由硅膜片的大幅度偏折(deflecti-on)和压阻元件的非线性压阻特性所引起的。文章还指出了将非线性减至最小程度时传感器的最佳结构形式。对所制得的压力传感器的非线性作了测量,其值与数学分析值十分吻合。     

可见光和红外传感器的飞行实验

可见光和近可见光传感器在研究阶段初期曾被广泛应用，后来，微波传感器的出现使其相形见拙。然而，在近期的大量新一代传感器的飞行实验中，这种传感器大有东山再起之势。本文将简要介绍可见光及红外等第一代传感器及其在机载实验中的使用情况，叙述从机械式到推扫式扫描仪再到非扫描传感器的发展过程。本文所提及的传感器均为法国及欧洲最新的传感器设备。     

半导体压力传感器电路

这里介绍的半导体压力传感器(FPM-05G)具有小型、轻量、精度高的特点。半导体压力传感器利用了硅的压阻效应。在硅晶片上扩散形成电阻层,作成硅膜片,从而提高了压力灵敏度。将扩散电阻层组合成惠斯通电桥,然后将压力转换成电信号再进行处理。     

智能化传感器的研究初探

智能化传感器是一种带有微处理器兼有检测和信号处理功能的传感器。本文所说的智能化传感器是一种压力、温度信号测试一体的传感器，它可同时实现压力和温度信号的检测，而温度信号又作为对压力传感器温度特性补偿的依据。由于它具有很高的测量精度和极快的测量速度，因此是气动静态压力测量中理想的仪表。     

流量转速参数信号调理技术

液体火箭发动机试验中,流量和转速传感器输出的信号为不规则的频率信号,对不规则频率信号的调理是准确测量的关键环节。介绍了液氧煤油发动机地面试验中流量和转速参数信号的调理技术,重点阐述频率信号调理器的原理、功能、设计要点及调试方法,给出了频率信号调理器的关键环节原理图。使用这种频率信号调理器对液氧煤油发动机试验中流量和转速传感器输出的频率信号直接进行调理,保证了频率型参数的准确测量。     

推压力传感器计量检定的计算机应用

分析推力、压力传感器计量检定工作中存在的问题，提出了用继电器卡实现一次检定工作中可以使用一台数字万用表多台（多路）传感器，计算机自动记录、处理、打印数据。文中介绍了系统的组成及工作原理、计算机软件功能和传感器实例。