首页
|
官方网站
微博
|
高级检索
全部学科
医药、卫生
生物科学
工业技术
交通运输
航空、航天
环境科学、安全科学
自然科学总论
数理科学和化学
天文学、地球科学
农业科学
哲学、宗教
社会科学总论
政治、法律
军事
经济
历史、地理
语言、文字
文学
艺术
文化、科学、教育、体育
马列毛邓
全部专业
中文标题
英文标题
中文关键词
英文关键词
中文摘要
英文摘要
作者中文名
作者英文名
单位中文名
单位英文名
基金中文名
基金英文名
杂志中文名
杂志英文名
栏目中文名
栏目英文名
DOI
责任编辑
分类号
杂志ISSN号
半球谐振子镀膜残余应力对品质因数影响特性分析
作者姓名:
楚建宁
朱蓓蓓
秦 琳
刘 青
兰 洁
陈 肖
许剑锋
作者单位:
华中科技大学 机械科学与工程学院;上海航天控制技术研究所
基金项目:
装发部十三五共用技术预研项目(2017-2020)
摘 要:
针对半球谐振子表面金属薄膜残余应力分布情况,对半球谐振子Q值的影响特性进行仿真。根据仿真结果,采用多自由度磁控溅射及基底均匀加热的方法进行薄膜沉积工艺试验。控制多自由度旋转机构自传、公转、摆动参数分别为7(r/min)、12(r/min)、15(°)/s,基体均匀加热至120℃,溅射时间26min后得到100nm左右的膜层厚度。在真空状态下对半球谐振子镀膜后品质因数进行检测,结果表明可有效控制镀膜后Q值衰减不大于30%。
关 键 词:
半球谐振陀螺
多自由度转动机构
谐振子镀膜
Q值仿真
残余应力。
Character Analysis of the Influence of Coating Residual Stress on Quality Factor for the Hemispherical Resonator
Authors:
CHU Jiannning
ZHU Beibei
QIN Lin
LIU Qing
LAN Jie
CHEN Xiao
XU Jianfeng
Affiliation:
School of Mechanical Science & Engineering, Huazhong University of Science and Technology;Shanghai Aerospace Control Technology Institute
Abstract:
Keywords:
hemispherical resonator gyroscopes
multi-DOF rotating mechanism
coating of HRG
simulation of Q factor
residual stress
点击此处可从《》浏览原始摘要信息
点击此处可从《》下载全文
设为首页
|
免责声明
|
关于勤云
|
加入收藏
Copyright
©
北京勤云科技发展有限公司
京ICP备09084417号-23
京公网安备 11010802026262号