| 基于法布里-珀罗干涉仪的微位移测量方法研究 |
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| 引用本文： | 段小艳,任冬梅,朱振宇,李华丰,兰一兵.基于法布里-珀罗干涉仪的微位移测量方法研究[J].航空计测技术,2013(1):23-25. |
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| 作者姓名： | 段小艳 任冬梅 朱振宇 李华丰 兰一兵 |
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| 作者单位： | 中航工业北京长城计量测试技术研究所 |
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| 基金项目： | 国家“十一五”技术基础计量科研项目资助(J052010C001) |
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| 摘 要： | 介绍了一种基于法布里-珀罗干涉仪的微位移测量方法,通过将位移测量转化为频率变化量的测量,实现了亚纳米级测量分辨力。建立了基于法布里-珀罗干涉仪的微位移测量实验装置,完成了320 nm范围内的位移测量,并将测量结果与精密电容传感器的测量结果进行了比较。
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| 关 键 词： | 微位移测量 法布里-珀罗干涉仪 亚纳米分辨力 频率追踪 |
Research on Measurement Method of Micro-displacement Based on Fabry-Perot Interferometer |
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| DUAN Xiaoyan,REN Dongmei,ZHU Zhenyu,LI Huafeng,LAN Yibing.Research on Measurement Method of Micro-displacement Based on Fabry-Perot Interferometer[J].Aviation Metrology & Measurement Technology,2013(1):23-25. |
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| Authors: | DUAN Xiaoyan REN Dongmei ZHU Zhenyu LI Huafeng LAN Yibing |
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| Institution: | (Changcheng Institute of Metrology and Measurement,Beijing 100095,China) |
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