| 高温化学腐蚀加工多孔碳化硅陶瓷的表征及机理 |
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| 引用本文： | 刘善勇,王玉玲,孙树峰,邵晶,刘庆玉,王津.高温化学腐蚀加工多孔碳化硅陶瓷的表征及机理[J].航空材料学报,2019,39(2):16-24. |
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| 作者姓名： | 刘善勇 王玉玲 孙树峰 邵晶 刘庆玉 王津 |
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| 作者单位： | 青岛理工大学 机械工程学院,山东 青岛,266520;青岛理工大学 机械工程学院,山东 青岛,266520;青岛理工大学 机械工程学院,山东 青岛,266520;青岛理工大学 机械工程学院,山东 青岛,266520;青岛理工大学 机械工程学院,山东 青岛,266520;青岛理工大学 机械工程学院,山东 青岛,266520 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金;山东省重点研发计划(重大关键技术)项目;山东省研究生教育质量提升计划项目 |
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| 摘 要： | 探讨高温化学腐蚀加工SiC陶瓷工艺参数对加工质量的影响,分析SiC陶瓷的腐蚀机理。分别用失重法和Archimedes法测量试样的腐蚀速率和气孔率;用XRD、SEM、粗糙度测试仪对试样表面的形貌和结构进行表征。结果表明:随着温度和KOH浓度升高,腐蚀速率加快,温度高于碱溶液沸点时,腐蚀效果显著提高;碱溶液浓度过高会造成气孔率下降,升高温度可减缓气孔率下降;在优化的工艺参数下,高温化学腐蚀能够降低样品粗糙度,最低约为1.6μm;表面质量得到改善,轮廓支承长度率Rmr提高,Rmr(50%)达到89.70%;腐蚀温度过高或时间过长将造成晶粒脱落,导致表面质量大幅下降;此外,与机械加工试样相比,高温化学加工后的样品未出现裂纹,表面经简单清洗无反应物残留。
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| 关 键 词： | SIC 高温化学腐蚀 工艺参数 腐蚀机理 粗糙度 表面形貌 |
Characterization and mechanism of porous silicon carbide ceramics processed by high temperature chemical corrosion |
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| LIU Shanyong,WANG Yuling,SUN Shufeng,SHAO Jing,LIU Qingyu,WANG Jin.Characterization and mechanism of porous silicon carbide ceramics processed by high temperature chemical corrosion[J].Journal of Aeronautical Materials,2019,39(2):16-24. |
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| Authors: | LIU Shanyong WANG Yuling SUN Shufeng SHAO Jing LIU Qingyu WANG Jin |
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| Institution: | (College of Mechanical Engineering,Qingdao University of Technology,Qingdao 266520,Shandong,China) |
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| Abstract: | LIU Shanyong;WANG Yuling;SUN Shufeng;SHAO Jing;LIU Qingyu;WANG Jin(College of Mechanical Engineering,Qingdao University of Technology,Qingdao 266520,Shandong,China) |
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| Keywords: | SiC high temperature chemical etching process parameters corrosion mechanism roughness surface morphology |
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