| 离子束增强沉积TiB2薄膜的耐蚀性能研究 |
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| 引用本文： | 白新德,况圆珠.离子束增强沉积TiB2薄膜的耐蚀性能研究[J].中国空间科学技术,1996,16(1):64-69. |
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| 作者姓名： | 白新德 况圆珠 |
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| 作者单位： | 清华大学，中国科学院空间科学与应用研究中心 |
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| 摘 要： | 研究了在紫铜基材上用离子束增强沉积法（ＩＢＥＤ）沉积ＴｉＢ２薄膜后，在６００，７００和８００℃的空气中氧化的动力学曲线；在ＩＮＨ２ＳＯ４溶液中，用动电位扫描法测定了其极化曲线和极化阻力，用ＳＥＭ观察了其形貌，用俄歇电子谱仪（ＡＥＳ）分析了膜的成份，用Ｘ－射线衍射仪（ＸＲＤ）研究了膜的微观结构；讨论了ＴｉＢ２薄膜具有优良耐蚀性的机理。
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| 关 键 词： | TiB_2，薄膜，离子束，淀积，性能试验，分析 |
STUDY OF CORROSION RESISTANCE OFTiB_2 THIN FILMS ON COPPER BY ION BEAM ENHANCEMENT DEPOSITION |
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| Bai Xinde,Wang Sheguan,Fan Yudian.STUDY OF CORROSION RESISTANCE OFTiB_2 THIN FILMS ON COPPER BY ION BEAM ENHANCEMENT DEPOSITION[J].Chinese Space Science and Technology,1996,16(1):64-69. |
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| Authors: | Bai Xinde Wang Sheguan Fan Yudian |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | TiB_2 thin film Ion beam Deposition Performance test Analyzing |
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