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| 美国X光刻研究中心CXrL | |
| 引用本文： | 张建明.美国X光刻研究中心CXrL[J].航空精密制造技术,1995(2). |
| 作者姓名： | 张建明 |
| 摘 要： | 美国Ｘ光刻研究中心ＣＸｒＬ建于１９８３年的美国威斯康星大学麦迪逊分校（ＵＷ－Ｍａｄｉｓｏｎ）Ｘ光刻研究中心ＣＸｒＬ（ＣｅｎｔｅｒｆｏｒＸ－ｒａｙＬｉｔｈｏｇｒａｐｈｙ）是以推动半导体工业的进步为其研究与发展目标．ＣＸｒＬ的工作专为使用Ｘ光刻（ＸＲＬ）... |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |
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