离子束加工和离子镀膜简介

针对超精细加工的技术要求,叙述了离子加工应用技术的发展概况、各型号离子束刻蚀机的性能及使用效果,阐述了离子镀膜的基本原理与特点。这种镀膜对零、部件表面的保护及性能改善有重要作用。