| 一种新型MEMS移相器设计 |
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| 作者姓名： | 唐恺 吴群 杨国辉 孙凤林 傅佳辉 马伟 |
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| 作者单位： | 哈尔滨工业大学电子与信息技术研究院 哈尔滨150001(唐恺，吴群，杨国辉，孙凤林，傅佳辉)，空间微波技术国防科技重点实验室 西安710000(马伟) |
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| 基金项目： | 航空科学基金(20060112105)，CAST创新基金(CAST200610)，哈尔滨工业大学跨学科交叉性研究基金(HITMD.2003.07) |
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| 摘 要： | 建立Ka波段分布式MEMS移相器的等效电路,设计基于此模型的分布式MEMS移相器,并对其反射损耗与插入损耗进行优化。仿真结果表明,该模型在4GHz工作带宽内反射损耗小于-15dB,在10GHz带宽内插入损耗大于-2dB,单桥相移达到35°。
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| 关 键 词： | 分布式MEMS传输线 移相器 等效电路 MEMS金属桥 |
A Novel Design for the MEMS Phase Shifter |
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| Authors: | Tang Kai Wu Qun |
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| Abstract: | The equivalent circuit for the distributed MEMS transmission line phase shifter of Ka band is modeled.After the optimization of the return loss and insertion loss,the phase shifter structure based on this model is designed.The simulation results show that the return loss is below-15dB during the bandwidth of 4GHz,and the insertion loss is more than-2dB during the bandwidth of 10GHz.The phase shift for a single MEMS bridge can reach 35 degrees. |
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| Keywords: | Distributed MEMS transmission line(DMTL) Phase shifter Equivalent circuit MEMS bridge |
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