气体压力计

历来,在10气压至0.0001mbar压力范围内连续将压力变换成电输出的压力计中,有利用作用于弹性隔膜上的压力差式隔膜压力计和利用热传导作用的比拉尼真空计等。它们都已获得广泛的应用。但这些压力计有下列缺点:①一个感压元件所能感测的压力范围只在4个数量级以内,②使用温度受到限制,③各个传感器的结构复杂,体积也较大,在大压差作用下,压力接受部会发生破坏,④响应比较缓慢等。