| 超精密定位中的几项相关关键技术 |
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| 引用本文： | 王波,董申,赵万生.超精密定位中的几项相关关键技术[J].航空精密制造技术,1998(3). |
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| 作者姓名： | 王波 董申 赵万生 |
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| 作者单位： | 哈尔滨工业大学精加工研究室 |
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| 摘 要： | 通过结合自已的实际工作，分别从伺服进给机构，位置检测技术，数控及伺服控制等几个方面对超精密机床的定位系统进行了说明
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| 关 键 词： | 超精密加工 定位 伺服控制 激光干涉仪 |
Some Key Technoloigies about Super-precision Position |
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| Wang Bo,Dong Shen,Zhao Wansheng.Some Key Technoloigies about Super-precision Position[J].Aviation Precision Manufacturing Technology,1998(3). |
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| Authors: | Wang Bo Dong Shen Zhao Wansheng |
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| Abstract: | This paper states the position system of the super-precision machine from the following aspects: such as servo feeding mechanism, position detecting technology, numerical control and servo control, etc. |
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| Keywords: | super-precision machining\ positioning\ servo control\ laser interferometer |
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