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| 光电式动态光栅精密圆刻机 | |
| 作者姓名： | 张国范 |
| 作者单位： | 中国航空精密机械研究所 |
| 摘 要： | 介绍了一种刻划精度达±０．０６″，采用圆光栅作角分度基准器，空气静压双半球轴系作主轴，由电机直接驱动，用脉冲氙灯作光源，以聚乙烯醇负性光刻胶作感光胶的新型的连续动态光刻光电式动态光栅精密圆刻机的设计和它的研制要点及有关技术。 |
| 关 键 词： | 精密光栅圆刻机，光栅 |
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