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超精密级车床弹性变形微量进给装置的设计
引用本文:
李益民 ,冯之敬.超精密级车床弹性变形微量进给装置的设计[J].航天制造技术,1986(4).
作者姓名:
李益民
冯之敬
摘 要:
为实现0.02~0.03微米级精度的微量位移,单纯依靠构件的精度是很难成功的,因此必须采取特殊的位移输出结构形式及实测法定标。 一、“T”形弹性变形位移变换器的设计 本装置所采用的弹性变形位移变换器原理如下。 如图1,弹簧钢片的C端固定,B端加定向约束,
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