| Co扩散阻挡层模型的设计 |
| |
| 引用本文： | 霍晓,任家烈. Co扩散阻挡层模型的设计[J]. 航空材料学报, 1996, 16(4): 30-33 |
| |
| 作者姓名： | 霍晓 任家烈 |
| |
| 作者单位： | 清华大学 |
| |
| 摘 要： | 通过对Ｃｏ扩散阻挡层在ＣＶＤ过程中冶金行为的理论分析，建立了计算Ｃｏ扩散阻挡层临界厚度δ临的数学模型。指出：阻挡层厚度δ≥δ临是抑制Ｃｏ对金刚石沉积不良影响的必要条件。
|
| 关 键 词： | Co，扩散阻挡层，模型 |
DESIGN FOR A MODEL OF Co DIFFUSION BARRIER |
| |
| Huo Xiao, Ren Jialie, Lu Anti. DESIGN FOR A MODEL OF Co DIFFUSION BARRIER[J]. Journal of Aeronautical Materials, 1996, 16(4): 30-33 |
| |
| Authors: | Huo Xiao Ren Jialie Lu Anti |
| |
| Affiliation: | Tsinghua University |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | cobalt diffusion barrier model |
| 本文献已被 CNKI 维普 等数据库收录！ |
|
