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电子工业用CVDD工艺和性质
引用本文:
紫英.电子工业用CVDD工艺和性质[J].航空精密制造技术,1995(6).
作者姓名:
紫英
摘 要:
电子工业用CVDD工艺和性质CVDD(化学气相淀积金刚石)是在氢气中渗入甲烷稀薄气体混合物制得的。温度大于700℃,压力要低于10133kPa。制得的金刚石为多晶微结构和柱状晶组织.这种工艺是一个在母体芯子上的CVD过程。所得产品直径大于150mm。...
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