非接触光学点位显微镜误差分析 |
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作者姓名: | 陈天池 |
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作者单位: | 中国航天工业总公司102所 |
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摘 要: | 对可用于非接触测量叶轮、曲面面形、软质材料工件形位误差的光学点位显微镜的测量原理及纵向瞄准、定位误差进行了分析,指出适当选择好参数,纵向定位瞄准误差从理论上可达±(1~3)μm。实验表明,被测工件表面漫反射特性对纵向定位瞄准有一定影响,其纵向定位瞄准分散值一般可控制在±(3~5)μm左右。该装置是一种非常实用、使用方便的纵向定位瞄准装置。
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关 键 词: | 非接触测量,瞄准定位,显微镜,误差分析 |
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