激光陀螺超高反射镜基片抛光工艺 |
| |
引用本文: | 滕霖,宋绍忠,任敬心.激光陀螺超高反射镜基片抛光工艺[J].航空精密制造技术,1997(3). |
| |
作者姓名: | 滕霖 宋绍忠 任敬心 |
| |
作者单位: | 西北工业大学,西北工业大学 |
| |
摘 要: | 采用新型双层结构沥青抛光模和两种抛光粉(CeO2和Fe2O3)分步抛光工艺,在合理选择抛光工艺参数的条件下,实现了微晶玻璃激光陀螺反射镜基片的超精密抛光,表面粗糙度达到Ra<0.5nm、面型精度N=0.5、△N=0,1.
|
关 键 词: | 抛光 反射镜基片 |
本文献已被 CNKI 等数据库收录! |
|