| 机床线性轴多自由度运动误差在线测量方法 |
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| 引用本文： | 蔡引娣,高英豪,王路辉,范光照.机床线性轴多自由度运动误差在线测量方法[J].航空制造技术,2022,65(5):55-62. |
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| 作者姓名： | 蔡引娣 高英豪 王路辉 范光照 |
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| 作者单位： | 大连理工大学,大连 116024 |
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| 基金项目： | 国家重点研发计划;国家自然科学基金 |
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| 摘 要： | 激光多自由度误差测量方法常被用于测量机床运动误差。半导体激光器由于体积小、成本低等优点，常被作为激光多自由度误差测量系统的光源。但是，大气扰动和测量系统的变形将导致半导体激光器的出射光束产生漂移，影响测量系统的稳定性。同时，由于半导体激光器的发光特点，其光斑常为椭圆形，从而制约了以半导体激光器为光源的激光多自由度误差测量系统的测量精度。因此，提出了基于双反射镜的光束漂移自动抑制方法，对半导体激光的光束漂移进行实时测量和补偿；同时提出了光束整形方法，在不加入其他光学元件的同时，修正半导体激光器的光斑形貌。在此基础上，设计并搭建了半导体激光多自由度运动误差测量系统。通过试验可得，测量系统水平直线度误差信号、竖直直线度误差信号、偏摆角误差信号和俯仰角误差信号的稳定性由光束漂移抑制前的6.9μm、6.7μm、5.4arcsec和4.6arcsec提高到光束漂移抑制后的5.5μm、2.5μm、1.3arcsec和1.7arcsec；直线度误差测量精度优于1.9μm，角度误差测量精度优于1.6arcsec。
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| 关 键 词： | 运动误差 多自由度误差 半导体激光器 光束漂移 光斑形变 |
On-Machine Measurement Method for Multi-Degree-of-Freedom Motion Error of Linear Stage of Machine Tool |
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| CAI Yindi,GAO Yinghao,WANG Luhui,FAN Guangzhao.On-Machine Measurement Method for Multi-Degree-of-Freedom Motion Error of Linear Stage of Machine Tool[J].Aeronautical Manufacturing Technology,2022,65(5):55-62. |
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| Authors: | CAI Yindi GAO Yinghao WANG Luhui FAN Guangzhao |
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