| 氮化铝陶瓷的椭圆超声辅助固结磨粒抛光研究 |
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| 引用本文： | 李庚卓,吴勇波,汪强.氮化铝陶瓷的椭圆超声辅助固结磨粒抛光研究[J].航空制造技术,2022,65(8):64-68,75. |
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| 作者姓名： | 李庚卓 吴勇波 汪强 |
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| 作者单位： | 南方科技大学,深圳 518055 |
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| 基金项目： | 深圳市科技计划;国家自然科学基金;科技部重点专项 |
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| 摘 要： | 氮化铝陶瓷因其良好的导热性、与硅接近的热膨胀系数和优异的机械强度等优点,作为高集成度和高功率器件封装最理想的载板材料而广受关注,在航空航天、汽车、芯片和国防军工中有着良好的应用前景.目前使用最广泛的氮化铝陶瓷载板平坦化方法主要是研磨和抛光,然而其游离磨粒的特性导致了材料去除率偏低,加工效率遭遇瓶颈,此外,其磨浆中的化学...
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| 关 键 词： | 氮化铝陶瓷 研磨和抛光 固结磨粒抛光 超声辅助加工 椭圆超声振动 |
Elliptic Ultrasonic Assisted Fixed-Abrasive Polishing of AlN Ceramics |
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| LI Gengzhuo,WU Yongbo,WANG Qiang.Elliptic Ultrasonic Assisted Fixed-Abrasive Polishing of AlN Ceramics[J].Aeronautical Manufacturing Technology,2022,65(8):64-68,75. |
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| Authors: | LI Gengzhuo WU Yongbo WANG Qiang |
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| Abstract: | |
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