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| YAG、GGG晶体机械损伤层X射线检测 | |
| 引用本文： | 滕霖,任敬心,张广良.YAG、GGG晶体机械损伤层X射线检测[J].航空精密制造技术,1995(2). |
| 作者姓名： | 滕霖 任敬心 张广良 |
| 作者单位： | 西北工业大学，西北大学 |
| 摘 要： | 介绍了在普通Ｘ射线衍射仪上利用旋转样品台，通过精确调鳌，使晶面法线处于衍射平面，从而进行晶体机械加工损伤层的Ｘ射线衍射分析．衍射分析结果表明，研磨后的晶体表面是由破碎镶嵌层、裂纹及晶格畸变等损伤层组成．配合腐蚀实验，确定出不同工艺方法产生的损伤程度及损伤层深度，并证实通过控制机械化学抛光时间能够实现ＹＡＧ、ＧＧＧ晶体的无损伤加． |
| 关 键 词： | ：晶体加工，X射线衍射，研磨，抛光 |
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