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| 高灵敏度微型空气静压支承方导轨的制造技术 | |
| 引用本文： | 杨学智,张连清.高灵敏度微型空气静压支承方导轨的制造技术[J].航天制造技术,1997(3):40-43. |
| 作者姓名： | 杨学智 张连清 |
| 作者单位： | 北京兴华机械厂 |
| 摘 要： | 分析了超精密一维测量头对导轨的灵敏度要求，论述了高灵敏度小型空气静压方导轨的制造方法。采用该方法制造出来的导轨可将导轨的摩擦力控制在5mg以内，导轨的直线性控制在1μm／10mm内，这使得超精密一维测量头实现0．05μm的重复测量精度成为可能。 |
| 关 键 词： | 方形导轨 空气静压支承 测头 |
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