陶瓷超导薄膜 |
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引用本文: | 史可顺.陶瓷超导薄膜[J].宇航材料工艺,1988(5). |
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作者姓名: | 史可顺 |
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作者单位: | 中国硅酸盐学会 |
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摘 要: | 自1987年初发现液氮温度下呈现超导特性的Ba_2 YCu_3O_7-δ陶瓷以来,陶瓷超导体的研究已成为物理学者、陶瓷材料学者所关注的中心。制备陶瓷超导薄膜和电路,将为液氮温度下工作的超导电子装置打开大门。本文介绍由等离子喷涂、离子束和直流磁控管溅射制备薄膜的方法,后处理过程和所达到的性能。
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关 键 词: | 超导薄膜材料 等离子喷涂 离子束 直流磁控管溅射 |
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