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陶瓷超导薄膜
引用本文:史可顺.陶瓷超导薄膜[J].宇航材料工艺,1988(5).
作者姓名:史可顺
作者单位:中国硅酸盐学会
摘    要:自1987年初发现液氮温度下呈现超导特性的Ba_2 YCu_3O_7-δ陶瓷以来,陶瓷超导体的研究已成为物理学者、陶瓷材料学者所关注的中心。制备陶瓷超导薄膜和电路,将为液氮温度下工作的超导电子装置打开大门。本文介绍由等离子喷涂、离子束和直流磁控管溅射制备薄膜的方法,后处理过程和所达到的性能。

关 键 词:超导薄膜材料  等离子喷涂  离子束  直流磁控管溅射
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