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高精度圆感应同步器制造技术
引用本文:周自强.高精度圆感应同步器制造技术[J].航空精密制造技术,1995(5).
作者姓名:周自强
作者单位:中国航空精密机械研究所
摘    要:简要介绍了元部件的工作原理和结构、国内外的发展水平,重点论述制造技术方案的选择和实施的工艺流程,关键技术的特点分析及实施办法,工序中减小误差的操作注意点,最后分析测试方法.

关 键 词:圆感应同步器,光刻,模版
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